Измерение толщины тонких пленок

Компания ЗЭНКО ПЛАЗМА является эксклюзивным дистрибьютором компании Semiconsoft (США) и предлагает системы измерения толщин, оптических констант, шероховатости прозрачных и слабопоглащающих пленок. Данные системы предназначены для таких материалов как оксиды, нитриды, фоторезисты, полимеры, полупроводники (Si, a-Si, poly-Si), соединения полупроводников (AlGaAs, InGaAs, CdTe, CIGS), твердые покрытия (SiC, DLC), полимерные покрытия (Парилен, PMMA, Полиамиды), тонкие пленки металлов (до 50 нм). Быстро и достоверно можно измерить тонкопленочные гетероструктуры (TCO, CIGS, CdS, CdTe, ZnO/Al2O3) с 5 и более слоями, применяющиеся при производстве солнечных элементов и органической электроники.

Каждая система поставляется со специализированным программным обеспечением (ПО) TFCompanion, позволяющим проводить анализ и измерения пленок различных материалов и структур. ПО сочетает универсальные аналитические инструменты для определения толщины слоев и оптических свойств материалов. Возможность моделирования и проведение анализа чувствительности позволяет оптимизировать методику измерений. Данные измерений могут быть импортированы в текстовый формат, а также, поддерживается импорт данных из установок эллипсометрии и рефлектометрии. ПО включает 3 уровня доступа: администратор, инженер, оператор. Может быть интегрировано через протокол TCP/IP. TFCompanion объединяет в себе оптическую метрологию, материаловедение и опыт разработки программного обеспечения с использованием новейших компьютерных технологий. Поддерживает операционные системы Windows, Linux и Mac OS.

В линейку систем входят:

Настольная система измерения толщин тонких пленок MProbe 20

MProbe 20 – настольная система измерения толщин тонких пленок в диапазоне от 1 нм до 1 мм. Диапазон длин волн составляет от 200 нм до 8000 нм, в зависимости от конфигурации установки. Основной блок состоит из спектрометра и источника излучения. Система поставляется вместе со специализированным программным обеспечением TFCompanion, позволяющим пользователю проводить измерения и анализ данных в один клик. Предустановленная библиотека включает более 500 материалов и делает возможным самостоятельно дополнять и редактировать информацию. Интуитивно понятный интерфейс не требует специального обучения персонала. Калибровочный образец, входящий в комплект поставки, дает возможность в любой момент проверить правильность измерений. Возможна конфигурация OEM и под индивидуальные требования заказчика.

Настольная система измерения толщин тонких пленок с микроскопом MProbe 40

MProbe 40 - настольная система измерения толщин тонких пленок с микроскопом. Основным отличием от системы MProbe 20, является возможность одновременно проводить визуальный анализ и измерения в определенной области, наблюдаемой через микроскоп. Размер пятна измерения при этом может быть от 2 до 8 мкм (в зависимости от используемого объектива и оптоволокна). Конструкция микроскопа может поддерживать работу в NIR диапазоне (ближняя ИК-область), в проходящем и отраженном свете для измерения спектров отражения и пропускания. При необходимости, возможна функция удаленного измерения через коммуникационные протоколы TCP-IP и MODBUS. Возможность установки отдельного окулярного адаптера, позволяет интегрировать функцию измерения толщин в практически любой тринокулярный микроскоп.

Автоматическая система MProbe 50

MProbe 50 – данная система позволяет получать карту измерений толщины, однородности поверхности по всей пластине в автоматическом режиме. Большой координатный столик позволяет работать с пластинами диаметром до 300 мм. Система состоит из моторизованного двухкоординатного столика и зонда для измерения. Благодаря возможности задания параметров проведения измерений, система применяется как для работы в научно-исследовательских лабораториях, так и на полупроводниковом производстве. Комплект поставки включает специальное ПО для создания рецептов картографирования, а также, обеспечивающее сбор, анализ и графическое отображение данных.