MProbe 20 - настольная система для измерения толщин тонких пленок и оптических свойств материалов.

Область применения:

  • Измерение толщины, оптических констант
  • Измерение тонкопленочных гетероструктур солнечных элементов: aSi, TCO, CIGS, CdS, CdTe
  • Органическая электроника (ОСИД)
  • Оптические покрытия: фильтры, твердые покрытия, антибликовые (просветляющие) покрытия
  • Полупроводники и диэлектрики: оксиды, нитриды, фоторезист, полимеры

Особенности:

  • Измерение и анализ данных в режиме реального времени
  • Измерение многослойных структур
  • Обширная предустановленная библиотека материалов (более 500) с возможностью самостоятельного дополнения и редактирования
  • Специализированное программное обеспечение с интуитивно понятным интерфейсом
  • Простая интеграция с внешней системой при помощи интерфейса TCP или Modbus
  • Компактный размер

Технические характеристики

Размер образцаОт 4 мм
Диапазон измеряемых толщин1 нм – 1000 мкм (в зависимости от модели)
Размер пучка2 мм (опция до 3 мкм)
Спектральное разрешение< 2 нм
Точность0,2% либо 1 нм
Воспроизводимость0,02 нм либо 0,03%
Питание100-250 В, 50/60 Гц, 20 Вт
Габаритные размеры (ДхШхВ)20 х 25 х 10 см
Дополнительные опцииПодложкодержатель для образцов размером до 200 х 200 мм;
Функция автоматического измерения по пластине диаметром до 300 мм;
Ахроматическая фокусирующая линза, WD 35 мм, размер пятна <0,5 мм;
Широкополосный фильтр, ограничивает длину волны до 500 нм (применяется для измерений фоторезиста);
Держатель для работы с прозрачными и гибкими образцами (обеспечивает крепление образца лицевой поверхностью вниз);
Конфигурация для измерения спектров пропускания;
2-ух канальный переключатель, позволяет одновременно измерять спектры отражения и пропускания;
Улучшенный спектрометр с разрешением < 1 нм;
Удаленное управление через протокол Modbus.