MProbe 40 - настольная система с микроскопом для измерения толщин тонких пленок и оптических свойств материалов.

Область применения:

  • Измерение толщины, оптических констант
  • Измерение тонкопленочных гетероструктур солнечных элементов: aSi, TCO, CIGS, CdS, CdTe
  • Органическая электроника (ОСИД)
  • Производство печатных плат
  • Оптические покрытия: фильтры, твердые покрытия, антибликовые (просветляющие) покрытия
  • Полупроводники и диэлектрики: оксиды, нитриды, фоторезист, полимеры

Особенности:

  • Планапохроматические объективы 5x, 10x, 20x, 50x с длинным фокусным расстоянием - парфокальное расстояние 95 мм
  • Размер пятна измерения до 2 мкм
  • Возможность работы в ближней ИК-области (NIR)
  • Наблюдение, измерение и анализ данных в режиме реального времени
  • Измерение многослойных структур
  • Обширная предустановленная библиотека материалов (более 500) с возможностью самостоятельного дополнения и редактирования
  • Специализированное программное обеспечение с интуитивно понятным интерфейсом
  • Компактный размер

Технические характеристики

Размер образцаОт 100 мкм до 200 х 200 мм
Размер подложкодержателя200 х 200 мм
Диапазон измеряемых толщин1 нм – 1000 мкм (в зависимости от модели)
Размер пучка200 – 4 мкм (опционально 2 мкм с объективом 100х и оптоволокном Vis200)
Спектральное разрешение< 2 нм
Точность0,2% либо 1 нм
Воспроизводимость0,02 нм либо 0,03%
Питание100-250 В, 50/60 Гц, 20 Вт
Габаритные размеры (ШхГхВ)Основной блок: 20 х 25 х 10 см
Микроскоп: 31 х 31 х 51 см
Дополнительные опцииМоторизованный столик 150 х 150 мм, или 200 х 200 мм, или 300 х 300 мм;
Включает котроллер и ПО для функции картографирования;
Стабильность позиционирования 1 мкм (с шагом 0,5 мкм);
Конфигурация для измерения спектров пропускания;
Оптоволокно Vis200, позволяет уменьшить размер пятна измерения в 2 раза (2 мкм с объективом 100х, 4 мкм с объективом 50х);
2-ух канальный переключатель, позволяет одновременно измерять спектры отражения и пропускания;
Адаптер для микроскопа с камерой, позволяет получать изображение образца и точно обозначать точку измерения. В комплект входит камера SCMOS/окуляр;
Объектив APO 100x (видимый диапазон) 95 мм с парфокальным расстоянием R=0,7 мкм;
Объективы для работы в NIR области;
Окулярная камера (2MP). Доступны к заказу также другие камеры;
Удаленное управление через протокол Modbus.