MProbe 50 - настольная система для измерения толщин тонких пленок и оптических свойств материалов в автоматическом режиме.

Область применения:

  • Измерение толщины, оптических констант
  • Измерение тонкопленочных гетероструктур солнечных элементов: aSi, TCO, CIGS, CdS, CdTe
  • Органическая электроника (ОСИД)
  • Оптические покрытия: фильтры, твердые покрытия, антибликовые (просветляющие) покрытия
  • Полупроводники и диэлектрики: оксиды, нитриды, фоторезист, полимеры

Особенности:

  • Позволяет получить карту измерений по всей поверхности пластины
  • Создание рецептов, с заданием количества точек измерений
  • Моторизованный столик для работы с пластинами диаметром до 300 мм
  • Измерение и анализ данных в режиме реального времени
  • Обширная предустановленная библиотека материалов (более 500) с возможностью самостоятельного дополнения и редактирования
  • Специализированное программное обеспечение с интуитивно понятным интерфейсом
  • Простая интеграция при помощи интерфейса USB 2.0
  • Компактный размер

Технические характеристики

Размер столика150 х 150 мм
Диапазон измеряемых толщин1 нм – 1000 мкм (в зависимости от модели)
Время измерения 10 точек< 20 c
Воспроизводимость< 2 мкм
Разрешающая способность< 0,5 мкм
КонтроллерИнтегрирован со столиком /256 микрошагов/24 В постоянного тока
Габаритные размеры (ДхШхВ)20 х 25 х 10 см
Дополнительные опцииМоторизованный столик 200 х 200 мм;
Моторизованный столик 300 х 300 мм;
Вакуумный держатель;
Оснастка для измерения спектра пропускания.