COVANCE - настольная установка плазменной обработки низкого давления.



Область применения:

  • Микроэлектроника, наноэлектроника,
  • Снятие фоторезиста
  • Оптоэлектроника
  • Производство печатных плат
  • Плазменная очистка
  • Плазменная активация поверхности
  • Научно-исследовательские центры и лаборатории
  • Обработка поверхности перед сваркой, пайкой, заливкой
  • Предварительная обработка перед нанесением лакового покрытия, клееющих веществ
  • Создания гидрофильных (притягивающих воду)/гидрофобных (водоотталкивающих) покрытий;
  • Обработка 2D и 3D материалов
  • Приборы на основе графена
  • Микрофлюидика
  • Биоинженерия
  • Тканевая инженерия
  • Медицина

Стандартный комплект поставки включает:

  • Установка плазменной обработки в моноблочном корпусе
  • Вакуумный насос с комплектом необходимого фитинга (хомуты, кольцевые уплотнения, сильфон, выхлопная трубка, фильтр масляного тумана) для подключения
  • Полипропиленовая трубка для подвода газа от баллона к разъемам на установке (рекомендуется выполнять линии подвода газа из нержавеющей стали методом орбитальной сварки);
  • Инструкция по эксплуатации на русском языке

Особенности:

  • Рабочая камера из алюминия, выполненная без сварных швов, обеспечивает минимальный уровень утечек и высокую электропроводность плазмы во время обработки
  • Инновационный дизайн подачи рабочего газа в камеру
  • Возможна конфигурация с ВЧ-генератором 13,56 МГц
  • Буферная камера для плавной откачки
  • Работа в ручном или полностью автоматическом режиме
  • Возможность задавать частоту генератора в диапазоне 20 – 100 кГц, с шагом 10 кГц
  • До 4 газовых линий с цифровыми РРГ (MFC)
  • Цветной сенсорный дисплей, диагональ 7"
  • Программное обеспечение на базе Microsoft Windows CE с интуитивно понятным интерфейсом
  • Возможность создания и хранения до 10 технологических рецептов, с заданием до 10 стадий в одном рецепте
  • Графическое отображение данных в режиме реального времени
  • Компактный и эргономичный дизайн

 Технические характеристики
Размер образцаМакс. 150 х 150 мм
Материал рабочей камерыАлюминий или кварц
Габаритные размеры камеры200мм x 220мм x 160мм (ДхШхВ), алюминий;
Ø150 х 250 мм (Д), кварц;
Генератор плазмы0 - 200 Вт, шаг регулировки 1 Вт
Диапазон частот генератора плазмы20 – 100 кГц
УправлениеРучное или автоматическое
Вакуумный насосСкорость откачки: 80 л/мин (5 м3/ч)
Предельное давление: 1 х 10-3 Торр
Датчик давленияПирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давленияАтм. – 1х10-3 Торр
Число газовых линийСтнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий
Разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска в рабочую камеруАзот, воздух, CDA
Разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия продувки рабочей камеры
Питание110/250 В, 50/60 Гц, 10А
Габаритные размеры (ШхГхВ)700 x 650 x 770 мм
Дополнительные опцииГенератор плазмы 300 Вт; 13,56 МГц;
Чиллер для охлаждения электрода (только для генератора 13,56 МГц);
Сухой вакуумный насос;
Дополнительная газовая линия (до 4 линий);
Комплект ЗИП;