Корзина (0)
CVD установка. Модель Thermo-CUTE
Thermo-CUTE серия представляет собой усовершенствованную синтезирующую систему химического осаждения из газовой фазы (CVD) с интегрированным источником плазмы в трубчатом реакторе с нагревателем. Благодаря удобству использования и экономичности — это хорошее решение для исследований, таких как углеродные нанотрубки, графен, нанопроволока, 2D-материалы, оксиды и нитриды в области полупроводников, нано-био и МЭМС.
Встроенный генератор плазмы системы CVD позволяет осуществить:
- низкотемпературный синтез
- обработка поверхности «на месте»
PECVD процесс может быть выполнен с использованием этой системы для синтеза дихалькогенидов переходных
металлов, таких как MoS2 и WS2, при низкой температуре с высоким качеством монокристаллов.
Технические характеристики:
| Модуль нагрева | |
| Тип | Горизонтальный разделённый |
| Нагревающий элемент | Керамический литой нагреватель |
| Рабочая температура | Максимально 1200°С |
| Размер нагревателя | 300 мм |
| Зона однородности | 100 мм |
| Мощность | 4 кВт |
| Трубчатый реактор и камера | |
| Размер трубки: Внутренний диаметр Длина |
46 мм 1200 мм |
| Материал камера напуска рабочего газа и камеры откачки | Нержавеющая сталь |
| Размер | |
| Число газовых линий | 3 (H2, CH4, Ar) + 1 дополнительная для будущей модернизации Разъем для подключения 1/4" типа Swagelok |
| Регулятор расхода газа | MFC |
| Линий напуска в рабочую камеру | |
| Линия продувки рабочей камеры | Азот, воздух, CDA Разъем для подключения 1/4" типа Swagelok |
| Газораспределительный блок | 5 х вход / 1 х выход Разъем для подключения 1/4" типа Swagelok |
| Датчик давления | Пирани (Leybold Thermovac) |
| Вакуумный насос Скорость откачки Предельный вакуум |
Масляный пластинчато-роторный 400 л/мин 1 x 10-3 Торр |
| Управление | Ручное или автоматическое |
| Панель управления | 10.2” сенсорный экран |
| Габаритные размеры установки (ШхГхВ), мм |
2000 х 1000 х 1200 |
| Габаритные размеры насоса (ШхГхВ), мм |
210 x 543 x 297 |
| Питание | 220В, 1 ф, 50Гц, 30A |
Применения:
Травление Графена и 2D-материалов
Генерация дефектов
