Системы вакуумного напыления для научно-исследовательских, опытно-конструкторских работ и мелкосерийного производства, серия Micro

Область применения:

  • Микроэлектроника, МЭМС
  • Производство оптических систем
  • Производство датчиков
  • Производство светодиодов

Особенности:

  • Компактный размер
  • Возможность установить до 6 магнетронов
  • Возможность работать с круглыми (50-200 мм) и прямоугольными подложками
  • DC/RF магнетроны позволяют напылять металлические и диэлектрические слои
  • Простая и удобная система управления на базе PLC
  • Высочайшее немецкое качество компонентов и сборки
 Технические характеристики
Размер подложекØ 50 – 200 мм
Материал подложекПолупроводники, металл, стекло, керамика
Максимальное число магнетронов6
Время откачки до давления 10-5 мбар< 5 мин
Предельное давление5 х 10-6 мбар
Линии подачи рабочего газаAr, N2
Дополнительные опцииЗагрузочный шлюз;
RF магнетроны для напыления диэлектрических слоев;
Вращающийся подложкодержатель;
Нагрев подложки;
Дополнительные линии подачи рабочих газов;
Источник предварительной ионной очистки поверхности;
Компоновка системы согласно индивидуальным требованиям заказчика.