Вакуумные затворы
Вакуумные затворы - это устройства, которые регулируют поток газов в вакуумных системах путем закрытия или открытия затворного механизма. Затвор состоит из трех основных частей: привод, затворный механизм и корпус затвора. При помощи привода приводится в движение затворный механизм, который, в свою очередь, открывает или перекрывает порты затвора. Корпус затвора представляет собой герметичную вакуумную камеру, которая присоединяется фланцами к вакуумной системе. В отличии от вакуумных клапанов, тарелка затвора перемещается перпендикулярно потоку газа, что обеспечивает максимальную проводимость в открытом положении. Поэтому вакуумные затворы наилучшим образом подходят для оборудования, работающей в молекулярном режиме течения газа, например, для турбомолекулярных, ионногетерных и криогенных насосов.
Вакуумные затворы могут быть оснащены ручным, пневматическим или электромеханическим приводом. Затворы могут быть выполнены с сильфонным уплотнением штока и электрополировкой поверхности внутренних узлов. Рабочая среда – воздух или некоррозионные газы. Затворы изготавливаться с фланцами различных размеров и следующих стандартов крепления: CF (Сonflat), KF (Klein Flange), ISO-K/ISO-F (Large Flange). От выбранного привода и размера фланца зависит скорость срабатывания затвора. Вакуумные затворы CBVAC могут изготавливаться в различных вариантах и конструктивных решениях: с увеличенным ресурсом работы до первого обслуживания, водяным охлаждением, специального назначения, с фланцами по чертежам заказчика.
Все затворы с диаметром условного прохода DN 63 и выше укомплектованы датчиками положения, и всеми необходимыми элементами, обеспечивающими работу затвора с любым типом привода, например, управляющими клапанами для затворов с пневматическим приводом.
СЕРИЯ UHV
Затворы серии UHV – высококачественные шиберные затворы для среднего и высокого вакуума, предназначены для работы в диапазоне 1х10-6 – 1.2х10-5 Па.
Производятся для ДУ от 63 мм до 630 мм серийно и до 1320 мм под заказ.
Оснащены ручным, пневматическим или электромеханическим приводом; сильфонным или фторэластомерным уплотнением штока.
Все сварные элементы конструкции затворов имеют внутренний шов, что обеспечивает снижение уровня течи. Высокая герметичность обеспечивается как по отношению к внешней среде, так и между седлом и запирающим элементом в закрытом положении.
Специальный дизайн корпуса и механизма движения позволяет снизить вес изделия с сохранением его прочности и надежности.
Особое исполнение корпуса затвора и применяемый механизм движения – с двумя направляющими – позволяют обеспечить плавный ход затвора.
СЕРИЯ UHV С ШАГОВЫМ ДВИГАТЕЛЕМ
Затворы с шаговым двигателем позволяют управлять положением тарелки в затворном механизме.
Управляющий механизм состоит из 3 частей: привода, шагового двигателя и внешнего контроллера.
Двигатель – трехфазный гибридный шаговый двигатель, максимальная разрешающая способность – 60 000 шагов/поворот, с функцией запоминания положения и защитой от перегрева и перегрузки.
Для управления (ручное или автоматическое) может быть использован стандартный контроллер типа PMC100 (поставляется опционально, в стоимость затвора не входит) или управление двигателем может быть интегрировано в глобальную систему управления оборудованием. Контроллер PMC100 поддерживает ручное и автоматической управление, совместим с независимым программным обеспечением, с помощью которого можно проводить управление и диагностику, имеет встроенную память, позволяющую хранить пользовательские программы и данные.
Затворы этой серии используются для перекрытия вакуумных линий и отделения одного вакуумного объема от другого, а также для управления проводимостью за счет регулирования проходного сечения. Это позволяет плавно и точно управлять давлением и потоком газа. Затворы с шаговым двигателем применяются в оборудовании для технологических процессов плазмохимического осаждения и травления, физических методов напыления и травления, в полупроводниковом производстве.
ПОРТАТИВНЫЕ ВАКУУМНЫЕ ЗАТВОРЫ UHV
Портативные шиберные затворы изготавливаются с ручным и пневматическим приводом (питание 220В или 24В), с фланцами KF и CF.
Преимуществом данных затворов являются малые габариты (высота самого большого затвора серии не превышает 327 мм), а также наличие двухрядного радиального шарикового подшипника, обеспечивающего плавное передвижение рабочего механизма и более стабильную работу.
Применяется сильфонное или фторэластомерное уплотнение штока, не используется смазка.
БОЛЬШИЕ ВАКУУМНЫЕ ЗАТВОРЫ HV
Большие затворы серии HV выпускаются с ДУ от 1600 до 3000 мм. Габаритные размеры изделий могут быть изменены в соответствии с потребностями заказчика.
Корпус затвора может изготавливаться из нержавеющей либо углеродистой стали.
Затворы этой серии имеют электромеханический привод и оснащены трехфазным асинхронным двигателем или двигателем переменного тока. Двигатель имеет эффективный режим торможения, за счет чего достигается минимальная ударная нагрузка. Также конструкция затворов позволяет снизить уровень вибрации и шума. Динамическое витоновое уплотнение марки Star обеспечивает низкий уровень течи и улучшение показателей герметичности.
ЗАТВОРЫ СПЕЦИАЛЬНОГО НАЗНАЧЕНИЯ
Затворы этих серий выпускаются по запросу в соответствии с техническими требованиями заказчика.
Затворы серии HV с водяным охлаждением используются при работе с высокими температурами. Основная сфера применения – для вакуумных печей.
Оснащены ручным или пневматическим приводом.
Прямоугольные вакуумные затворы выпускаются по индивидуальным размерам с пневматическим приводом. Широко применяются в полупроводниковой промышленности.
Система качающихся рычагов обеспечивает равномерное распределение поддержки, что минимизирует ударную нагрузку.
Узкопрофильная конструкция позволяет компактно размещать затвор и использовать рабочее пространство рационально.
