ДОСТАВКА ПО РОССИИ И СТРАНАМ СНГ
РЕЖИМ РАБОТЫ
09.00-18.00, пн-пт

Рука-робот предназначена для перемещения образцов. Роботы-манипуляторы обеспечивают двухосевое (R, θ) или трехосевое (R, θ, Z) движение. На всех моделях возможно установить одинарный или двойной подложкодержатель.

Роботы перемещения пластин Hine Automation разработаны для:

  • Работы с изделиями, требующими минимальный уровень вибрации
  • Процессов, требующих минимальное число сторонних частиц
  • Высоких показателей производительности и надежности
  • Среды сверхвысокого вакуума

Особенности:

  • Компактный, эргономичный дизайн
  • Встроенный механизм движения
  • Высокая точность позиционирования
  • Процессор, управляющий электронными компонентами
  • Возможность проектирования длины руки робота по требованию заказчика

ПараметрHA-5.0HA-3.2
Максимальная грузоподъемность4,5 кг4,5 кг
Оси движенияR, θ, ZR, θ
Вес35 кг30 кг
Рабочее давление1.00 х 10-7 Торр1.00 х 10-7 Торр
Натекание1.00 х 10-9 см3 He/c1.00 х 10-9 см3 He/c
Питание24В DC при 10А24В DC при 5А
Макс. температура100⁰C
Материалы6061‐T6 Al, нержавеющая сталь 300 и 400 серий, Viton
Интерфейс управленияRS‐232 / Ethernet
MCBF (циклов до ошибки)>1 х 106>1 х 106
Воспроизводимость (R, θ, Z)0,05мм; 0,01⁰; 0,05мм