Система MDS-100

12.05.2014

ЗАО «ЗЭНКО ПЛАЗМА» - официальный представитель компании Plasma-Therm в России – с гордостью сообщает, что наш партнер анонсировал революционную систему для разделения полупроводниковых пластин на кристаллы MicroDieSingulator™ - MDS-100.
MDS-100 – уникальная система плазменного разделения, которая совместима со всеми стандартными ленточными носителями для пластин до 200мм.
Секрет MDS-100 – лежащий в основе плазменного разделения Bosch процесс. Являясь мировым лидером в производстве оборудования для процессов сухого травления и плазмохимического осаждения и имея за плечами огромный опыт в разработке оборудования и процессов, Plasma-Therm применила Bosch процесс в новой сфере, тем самым совершив прорыв в области разделения пластин на кристаллы. Плазменное разделение по всем параметрам превосходит методы разделения лазерным лучом и диском.
Преимущества системы MDS-100:
- Скорость разделения кремниевой пластины диаметром 200мм и толщиной 50 микрон в 30 раз выше, чем у других методов.
- Уменьшенный размер дорожек скрайбирования (до 15 микрон) позволяет увеличить количество кристаллов на пластине.
- Возможность разделять кристаллы любой формы.
- Отсутствие механических повреждений и перегрева кристаллов, увеличенный съем с пластины.

О компании Plasma-Therm
Компания основана в 1974г. Plasma-Therm – американский производитель современного плазменного оборудования для научно-исследовательских целей и производства микроэлектроники, МЭМС, фотоники, светодиодов. Развитая сеть дистрибьюторов и сервисных центров в Северной Америке, Европе и Азии полностью удовлетворяет потребности более 600 клиентов компании по всему миру. В России Plasma-Therm доверила представлять свои интересы ЗАО «ЗЭНКО ПЛАЗМА».