Установка Apex SLR Etch, производства Plasma-Therm, запущена в NASA

В конце ноября 2015г. в Лаборатории реактивного движения НАСА (NASA JPL) запущена установка травления Apex SLR ICP (c источником индуктивно связанной плазмы) для расширения возможностей изготовления микроприборов в подразделении (MDL). Лаборатория реактивного движения (JPL) является научно-исследовательским и испытательным центром национального агентства по аэронавтике и исследованию космического пространства (НАСА), расположена в Пасадене, штат Калифорния, США.

Лаборатория производства микроприборов (MDL) продолжает обновлять свой парк оборудования плазменной обработки пластин. Система травления Apex SLR является 6 по счету, из всего количества систем поставленных Plasma-Therm и Advanced-Vacuum, и третьей за последние два года. Данные системы используются для производства особо важных компонентов в рамках исследований НАСА, в том числе детекторов космического излучения, твердотельных лазеров, используемых в обнаружении диоксида углерода и метана на Земле, Марсе и других планетах, и массивов инфракрасных датчиков для получения наземных и внеземных изображений. Промышленный выпуск устройств, как правило, реализуется с использованием единого набора неизменных и отработанных этапов технологического маршрута. Однако, операции в лаборатории MDL, позволяют делать уникальные приборы для применения в условиях космического пространства и поэтому, должны быть гораздо более универсальны, с точки зрения научных исследований, разработок и дальнейшего мелкосерийного производства на пластинах различных размеров, толщин и материалов.

Установка Apex SLR является универсальной системой для травления диэлектриков, металлов, полимеров, полупроводников, сплавов и сверхпроводящих материалов в рамках научно-исследовательских работ и мелкосерийного производства. Непосредственно в лаборатории MDL, установка Apex SLR ориентирована на процессы с использованием фторсодержащей химии для травления диэлектриков и сверхпроводящих материалов.