ДОСТАВКА ПО РОССИИ И СТРАНАМ СНГ
РЕЖИМ РАБОТЫ
09.00-18.00, пн-пт

Semicon Russia 2016

13.06.2016

Компания ZENCO PLASMA в 4 раз приняла участие в выставке SEMICON Russia 2016, которая проходила 8 – 9 июня, в ЦВК «Экспоцентр» на Красной Пресне.

Наша компания представила плазмохимические системы производства Plasma-Therm&AdvancedVacuum, оборудование для напыления и испарения металлов компании FHR, системы жидкостной очистки пластин и фотошаблонов производства компании Ultra Т Equipment, контрольно-измерительное оборудование одного из ведущих производителей в этой области компании Semilab, восстановленное оборудование KLA-Tencor и степперы Canon, настольные установки напыления и испарения компании NSC.

На стенде была представлена новинка производства компании Plasma-Therm - установка беззарядовой плазменной очистки поверхности Odyssey HDRF. Технология HDRF (High Density Radical Flux) полностью исключает ионную составлящую процесса травления, что позволяет избежать внесение электрического заряда в полупроводниковую структуру. Установка применяется для низкотемпературного (50-150˚С) снятия фоторезиста, удаления полимера и сглаживания стенок канавки после Bosch-процесса, очистки сложных 3D-структур от органики. Возможна ручная или автоматическая работа с пластинами 100, 150 и 200 мм.

В целом, компания ZENCO PLASMA представила оборудование для производства изделий микроэлектроники, МЭМС, оптоэлектроники, фотовольтаики, сенсоров, органических дисплеев и др. включая следующие технологические операции:

  • Плазмохимического осаждения и травления: RIE, PE, ICP, DSE, PECVD, HDP-CVD
  • Плазменной очистки поверхности
  • Магнетронного напыления (в т.ч. системы в настольном исполнении), термического испарения
  • Атомно-слоевого осаждения (ALD) и плазмостимулированного атомно-слоевого осаждения (PEALD)
  • Быстрого отжига FLA (flash lamp annealing), RTP, RTA
  • Очистки УФ-излучением и озоном (UVOH)
  • Контактной и проекционной фотолитографии
  • Гидромеханической обработки пластин и фотошаблонов
  • Нанесения, проявления, сушки фоторезиста
  • Контроля критических размеров элементов ИС и толщины различных слоев
  • Напыления функциональных слоев на стекла для производства органических светодиодов, дисплеев, фотоэлектрических систем.
  • Транспортировки подложек в конструкции вакуумных установок
Большое спасибо всем, кто посетил наш стенд, и будем рады дальнейшему взаимовыгодному сотрудничеству!