Скорость откачки, л/с | N2:3000 He:2750 H2:2300 Ar:1100 |
Коэффициент сжатия | N2:≥1×108 He:≥1×108 H2:≥1×104 Ar:≥1×103 |
Предельный вакуум, Па | ≤5×10-7 |
Максимальная газовая нагрузка, ст. см3 | N2:5800 He:2200 H2:4300 Ar:3100 |
Выходное соединение | KF50 |
Входное соединение | ISO-F320 |
Подшипники | Полный магнитный подвес |
Скорость вращения, об/мин. | 21000 |
Время запуска, мин. | ≤12 |
Рекомендованное стартовое давление, Па | <10 |
Максимальное давление запуска, Па | N2:290 |
Максимальное форвакуумное давление, Па | <40 |
Монтажное положение | Любое |
Охлаждение | Водяное(5-40℃) |
Охлаждающая вода | Температура:10-20℃ Давление:0.15МПа Поток:>1 л/мин. |
Патрубки подвода охлаждающей воды | Внутренний диаметр Φ10, прямоточные, обжимное быстроразъемное соединение |
Вес, кг | 70 |
Комплект поставки | Интегрированный контроллер; Кабель питания; Центрирующее кольцо с сетчатым фильтром и О-образное уплотнительное кольцо Viton; Руководство пользователя на русском языке; Гарантийный талон. |