Поставка установки плазменной обработки Covance - 2MPR

21.02.2019

ООО Зэнко Плазма осуществило поставку установки плазменной обработки Covance - 2MPR (производитель Femto Science,Корея) для АО Гирооптика.


АО Гирооптика осуществляет комплексную программную, конструкторскую и технологическую разработку и изготовление составных частей и функционально законченных изделий микросистемной техники — от микромеханических преобразователей параметров движения до инерциальных систем ориентации, стабилизации и управления различных классов объектов.


С помощью установки Covance возможна очистка и активация кремниевых пластин, дотравливание фоторезиста. Она снабжна ВЧ генератором и 2 газовыми линиями. Цифровой интерфейс базируется на планшетном компьютере вместо устаревших аналоговыхпереключателей.