Semicon Russia 2015
Компания ZENCO PLASMA уже в 3 раз приняла участие в выставке SEMICON Russia 2015, которая проходила 17 – 18 июня, в ЦВК «Экспоцентр» на Красной Пресне.
На выставке компания ZENCO PLASMA представила информацию о системах для микроэлектроники, МЭМС, оптоэлектроники, фотовольтаики, сенсоров, органических дисплеев и др.:
- Плазмохимического осаждения и травления: RIE, PE, ICP, DSE, PECVD, HDP-CVD
- Магнетронного напыления (в т.ч. системы в настольном исполнении), термического испарения
- Атомно-слоевого осаждения (ALD) и плазмостимулированного атомно-слоевого осаждения (PEALD)
- Быстрого отжига FLA (flash lamp annealing), RTP, RTA
- Очистки УФ-излучением и озоном (UVOH)
- Контактной и проекционной фотолитографии
- Гидромеханической обработки пластин и фотошаблонов
- Нанесения, проявления, сушки фоторезиста
- Контроля критических размеров элементов ИС и толщины различных слоев
- Напыления функциональных слоев на стекла для производства органических светодиодов, дисплеев, фотоэлектрических систем.
- Сухого хранения электронных компонентов
- Транспортировки подложек в конструкции вакуумных установок
Наши партнеры из компании PlasmaTherm LLC, представили гостям выставки в зоне TechLOUNGE доклад по ультрасовременной системе глубокого травления кремния (DSE IV) с высоким аспектным соотношением в технологии изготовления МЭМС и системе плазменного разделения пластин на кристаллы (MDS-100) в технологии сборки чипов.
В ходе выставки, большой популярностью пользовались системы для жидкостной очистки пластин и фотошаблонов, системы глубокого травления кремния с высоким аспектным соотношением, настольные установки нападения и УФ-озоновой очистки, системы контроля толщин пленок.
Впервые, была представлена информация о нашем немецком партнере компании FHR Anlagenbau GmbH, специализирующейся на промышленных и среднесерийных установках нанесения покрытий в вакууме на архитектурное стекло, листы из нержавеющей стали, рулонные материалы, полупроводниковые пластины и гибкие подложки. Также, была подготовлена новая рекламная продукция по системам атомно-слоевого осаждения, установкам контактной фотолитографии, настольным системам УФ-озоновой очистки, шкафам сухого хранения и системам измерения толщин пленок.
За время проведения выставки наш стенд посетили многие заказчики, с которыми у нас уже сложились прочные партнерские отношения. А также налажены новые контакты с прямыми и потенциальными заказчиками и партнерами, твердо намеренными сотрудничать с нашей компанией.
Спасибо всем, кто посетил наш стенд!