Технологическое оборудование

В этом разделе представлено технологическое оборудование для промышленного и мелкосерийного полупроводникового производства, напыления декоративных и защитных покрытий на стекла, листы из нержавеющей, рулонные материалы и объемные детали. Оборудование используется при изготовлении опытных партий и выполнении научно-исследовательских работ в области СВЧ, МЭМС, LED, RFID, силовой электроники, фотовольтаики, оптоэлектроники, сенсоров, органических дисплеев.

Правильно подобранное технологическое оборудование – это залог успеха, как для небольших исследовательских центров, так и для крупных предприятий. Компания ЗЭНКО ПЛАЗМА поставляет на Российский рынок весь спектр технологического оборудования для полупроводникового производства от ведущих мировых производителей. Наши специалисты подберут оборудование вплоть до проектирования технологической линии исходя из возможностей и потребностей Заказчика. Сертифицированные инженеры компании обеспечат пуско-наладочные работы, сервисное обслуживание оборудования и запуск технологических процессов.

Наши специалисты помогут вам подобрать комплексные решения в области микроэлектроники для технологических операций транзисторного цикла (FEOL), цикла формирования металлизации (BEOL) и разделения пластин на кристаллы:

  • Плазмо-химическое осаждение и травление (RIE, PE, ICP, DSE, PECVD, HDP-CVD)
  • Вакуумное напыление (магнетронное напыление, термическое испарение, электронно-лучевое напыление)
  • Атомно-слоевое осаждение (ALD, PEALD)
  • Гидромеханической обработки пластин и фотошаблонов
  • Очистки УФ-излучением и озоном (UVOH)
  • Нанесение, проявление и сушка фоторезиста
  • Контактная и проекционная фотолитография
  • Контроль критических размеров и совмещения
  • Метрология пластин и анализ пленок (спектрофотометры, эллипсометры, профилометры, микроскопы)
  • Термические процессы (FLA, RTP, RTA, RTO)
  • Ионная имплантация
  • Оснастка для работы с полупроводниковыми пластинами (кассеты, боксы для хранения и транспортировки, ориентаторы, перегрузчики пластин, пинцеты)

Измерительное оборудование:

  • Спектральные и лазерные эллипсометры для лабораторных и промышленных задач
  • Системы измерения толщин пленок, в том числе с функцией «Map mapping»
  • Оптические микроскопы, ИК микроскопы
  • Сканирующие электронные микроскопы (SEM)

Пробоподготовка для SEM/TEM микроскопии:

  • Настольные установки напыления

Производство архитектурного стекла, органических светодиодов (OLED), дисплеев, фотоэлектрических систем:

  • Промышленные системы вакуумного напыления на гибкие подложки, крупногабаритное стекло, листы из нержавеющей стали, рулонные материалы

Нанесение декоративных (золочение, серебрение), изностостойких, алмазоподобных покрытий на мелкие и крупногабаритные изделия:

  • Вакуумно-дуговое напыление (Cathode Arc Evaporator)
  • Атомно-слоевое осаждение

Вспомогательное оборудование:

  • Шкафы сухого хранения
  • Мишени для магнетронного напыления

Так же, компания ЗЭНКО ПЛАЗМА поставляет восстановленное оборудование (refurbished) ведущих мировых производителей для работы с пластинами 100-300 мм:

  • Степперы Canon (проекционная фотолитография)
  • KLA-Tencor (вся линейка систем для метрологии полупроводниковых пластин: микро и макро дефектность, рельеф, поверхностное сопротивление, толщина слоя и др.)
  • Applied Materials, Oxford, Plasma-Therm, SPTS (процессы RIE, PECVD)
  • EVG, SUS (установки совмещения/бондинга)
  • Semitool (жидкостная обработка)

Восстановление оборудования проводится либо самим производителем, либо специализирующейся компанией, поэтому конечный пользователь получает гарантии и сервис как при покупке нового оборудования.

Восстановленное оборудование – это:

  • возможность для малобюджетных организаций приобрести качественную и современную систему по более низкой цене.
  • возможность для крупных организаций приобрести большее количество единиц оборудования или направить сэкономленные средства на развитие новых технологий.

Обеспечение производства, элементы инженерной инфраструктуры:

  • Скрубберы (утилизация опасных газов)
  • Газовые шкафы, газовые панели, услуги по подключению к газам (обвязка)
  • Сжатый воздух, компрессоры
  • Чиллеры (теплообменник)
  • Источники бесперебойного питания
  • Вакуумные насосы