Установка атомно-слоевого осаждения ZP-PEALD-B

ZP-PEALD-B - установка плазмостимулированного атомно-слоевого осаждения с источником ICP плазмы. Разработана для научных исследований и применения в специальных областях промышленного производства. Позволяет проводить групповую обработку до 20 пластин размером до 200 мм. Широко применяется при осаждении материалов, чувствительных к температуре, а также, при осаждении пленок на гибкие подложки.

Осаждаемые материалы:

  • оксиды (TiO2, HfO2, SiO2, ZnO, ZrO2, Al2O3, La2O3, SnO2 и т.д.)
  • нитриды (TiN, SiN, AlN, TaN, ZrN, HfN, WN и т.д.)
  • металлы (Co, Cu, Ta, Ti, W, Ge, Pt, Ru, Ni, Fe)
  • полупроводники A2B6, A3B5 и сложные оксиды (GaAs, AlP, InP, GaP, InAs, LaHfxOy, SrTiO3, SrTaO6)

Особенности:

  • Установка разработана для научных исследований и применения в специальных областях промышленного производства
  • Рабочая камера для групповой обработки пластин размером до 200 мм
  • Наличие источника ICP плазмы мощностью 300 Вт позволяет осаждать пленки
  • материалов, чувствительных к температуре
  • Регулируемая температура подложки 25 – 500°C
  • Подогреваемые линии подачи прекурсоров (в зависимости от конфигурации прекурсоров). Стандартно 3 линии
  • Система управления на основе PLC и сенсорного дисплея, с возможностью задания параметров технологического процесса
  • Установка в условиях чистых помещений
 Технические характеристики
Размер пластинДо 300 мм включительно
Мощность источник ICP плазмы300 Вт, 13,56 МГц
Температура подложкиОт комнатной до 500⁰С, с точностью ± 0,1⁰С
Линии подачи прекурсоров3 линии (опционально - большее число)
Температура линии подачи прекурсоровОт комнатной до 200⁰С, с точностью ± 0,1⁰С
Температура источника горячих прекурсоровОт комнатной до 200⁰С, с точностью ± 0,1⁰С
Линии подачи газа, для формирования плазмы3 линии (опционально- большее число)
Специальные ALD клапаныSwagelok ALD
Предельное давление< 5∙10-3 Торр
Газ-носительN2 или Ar
Режим осажденияПоследовательный или интервальный
ПроизводительностьДо 20 пластин в загрузке
Система управленияPLC и сенсорный экран/дисплей
Питание50-60 Гц, 220 В / 20 A AC
Равномерность осаждения< ±1 %
Габаритные размеры, мм1281x789x1710
ОпцииДополнительные линии подачи прекурсоров;
Расширенный диапазон температур для подогреваемых линий подачи прекурсоров;
Озоновый генератор;