ДОСТАВКА ПО РОССИИ И СТРАНАМ СНГ
РЕЖИМ РАБОТЫ
09.00-18.00, пн-пт

Системы вакуумного напыления с групповой обработкой подложек для мелкосерийного производства, серия Boxx

Область применения:

  • Декоративное напыление;
  • Производство оптических систем;
  • Послойное напыление функциональных покрытий;
  • Микроэлектроника, МЭМС.

Особенности:

  • Ручная загрузка;
  • Групповая обработка круглых или прямоугольных подложек;
  • Возможность оснащения вакуумным загрузочным шлюзом;
  • DC/RF магнетроны позволяют напылять проводящие и непроводящие материалы;
  • Автоматизированная система управления на базе PLC;
  • Установка в условиях чистых помещений;
  • Высочайшее немецкое качество компонентов и сборки;
 Технические характеристики
Размер подложекКруглые, квадратные, прямоугольные
Материал подложекПолупроводники, керамика, стекло, металл
Групповая обработкаВ зависимости от размеров подложки
Ø100 мм (24 шт.)
Ø150 мм (12 шт.)
Режимы напыленияDC/RF
Температура подложки25 - 200˚С
Число рабочих секцийДо 8
Рабочее давление5 х 10-7 мбар
Равномерность слоя по подложке± 3%
Дополнительные опцииКомпоновка системы согласно индивидуальным требованиям заказчика;
Вакуумный загрузочный шлюз;
Нагрев подложек;
Станции предварительной и пост очистки поверхности;