ДОСТАВКА ПО РОССИИ И СТРАНАМ СНГ
РЕЖИМ РАБОТЫ
09.00-18.00, пн-пт

Настольная установка термического испарения (испарение снизу-вверх) с турбонасосом DTT.

Позволяет осаждать металлы, сплавы, полупроводники на подложки диаметром до 200мм. Процесс напыления можно проводить с одного или нескольких источников (лодочек, проволок).

Особенности:

  • Простая конструкция и дружественный интерфейс позволяют оператору легко и быстро проводить обработку образцов
  • Позволяет проводить процесс с одного или нескольких источников
  • Вакуумная камера диаметром 300 мм позволяет работать с кусочками образцов и п/п пластинами диаметром до 200мм
  • Благодаря материалу Pyrex, можно легко производить очистку рабочей камеры
  • Цветной, сенсорный экран позволяет просматривать лог-файлы последних 200 процессов напыления
  • Графическое отображение давления, толщины и тока во время процесса позволяет с высокой точностью управлять процессом напыления
  • Ручная или автоматическая обработка
  • Напыление по времени или по требуемой толщине
  • Высокоточная система контроля толщины на основе кварцевого датчика
  • Защита от перегрева образца
  • Прецизионный дозирующий клапан для подачи газа в камеру
  • Перенос параметров процесса на USB носитель
 Технические характеристики
Вакуумная камераДиаметр 300 мм, Высота 200мм
Материал Pyrex
Количество источников испарения3
Размер источников испарения5 – 9 см
Источник питания постоянного тока24 В, 100A
Вакуумная системаТурбомолекулярный насос
Сухой форвакуумный насос
Предельный вакуум9х10-6 Торр
Датчик давленияAтм - 1x10-7 мбар
Газовая линияAr, с прецизионным дозирующим клапаном
Система управленияНа основе PLC
Цветной, сенсорный экран 7"
Питание220 Вт, 50 Гц, 16 А
Вес (с форвакуумным насосом)43 кг
Габаритные размеры
(ШхГхВ)
50см х 55см х 50см
ОпцииВращающийся подложкодержатель;
Специальная конструкция подложкодержателя;
Дополнительная камера (материал Pyrex);
Дополнительный источник питания постоянного тока;
Дополнительный датчик толщины;
Кристаллы кварца для датчика толщины;