ДОСТАВКА ПО РОССИИ И СТРАНАМ СНГ
РЕЖИМ РАБОТЫ
09.00-18.00, пн-пт

Подъемники Hine Automation – современные подъемники со встроенным контроллером. Они обеспечивают точное позиционирование пластины для процессов, где захват осуществляется роботом с ограниченным вертикальным вылетом.

Подъемники HA‐50V/51V и Hatm‐50/51 предназначены для:

  • Интеграции в любой шлюз загрузки с кассетой или рабочий модуль, требующий вертикального перемещения
  • Позиционирования кассет с 25 или 50 пластинами
  • Точного позиционирования подложки в пределах высокого вакуума или атмосферного давления
  • Кассет с нестандартным весом

Особенности:

  • Сильфоны из нержавеющей стали обеспечивают совместимость со всеми вакуумными средами
  • Бесщеточный электродвигатель обеспечивает более высокие характеристики движения и улучшенную повторяемость
  • Встроенный отказоустойчивый предохранитель препятствует движению при отключении питания и может быть настроен с помощью интерфейса управления

ПараметрHA 50VHA 51VHAtm 50HAtm 51
Грузоподъемность34 кг
Вес18 кг
Рабочее давление1.00 х 10-9 ТоррNA
Натекание1.00 х 10-7 ТоррNA
Питание24В DC при 5А
Макс. температура100⁰C
МатериалыНержавеющая сталь 300 и 400 серий
Интерфейс управленияRS‐232 / Ethernet
MCBF (циклов до ошибки)>3 х 106
CEесть
Воспроизводимость0,05мм
Вертикальный ход185мм305мм185мм305мм