ДОСТАВКА ПО РОССИИ И СТРАНАМ СНГ
РЕЖИМ РАБОТЫ
09.00-18.00, пн-пт

Cистемы вакуумного напыления кластерного типа для мелкосерийного производства и НИОКР, серия Star

Область применения:

  • Микроэлектроника, МЭМС;
  • Производство оптических систем;
  • Производство датчиков;
  • Производство дисплеев.

Особенности:

  • Возможность использовать до 6 технологических модулей;
  • Возможность работать с подложками диаметром от 50 до 300 мм;
  • Позволяет реализовать процессы магнетронного, термического, электронно-лучевого напыления (PVD), плазмохимического осаждения (PECVD), атомно-слоевого осаждения (ALD), плазменного травления (PE/RIE), термического отжига (RTP/FLA) в одной системе;
  • Ручная загрузка или работа из кассеты в кассету;
  • Автоматизированная система управления на базе Siemens SPS и HMI-интерфейса;
  • Быстрый и легкий доступ ко всем модулям системы;
  • Установка в условиях чистых помещений;
  • Возможность сконфигурировать систему для задач НИОКР и мелкосерийного производства;
  • Высочайшее немецкое качество компонентов и сборки.
 Технические характеристики
Размер подложекØ 50 – 300 мм
Материал подложекПолупроводники, металл, стекло, керамика
Максимальное число технологических модулей6
Максимальное число шлюзов загрузки пластин2
Рабочее давление1 х 10-7 мбар
Равномерность напыляемого слоя± 3-5%
Дополнительные опцииКомпоновка системы согласно индивидуальным требованиям заказчика;
Источник предварительной ионной очистки поверхности;
Нагрев подложки.