Ориентаторы пластин предназначены для автоматического распознавания срезов (базовых, дополнительных, двойных) на непрозрачных и полупрозрачных пластинах. Ориентатор определяет базовый или дополнительный срез на пластине путем вращения подложки и обеспечивает корректировку между ориентирующим держателем и центром основного робота-манипулятора. Лазерная ПЗС матрица и электропривод обеспечивают точное позиционирование. Стандартные функции включают в себя: ориентирование тонких и гибких пластин; высокую точность выравнивания, как на пластине, так и от пластины к пластине. HA-71A и HA-75A могут быть сконфигурированы для выравнивания пластин разных размеров и форм.

Особенности:

  • Разработаны для среды сверхвысокого вакуума за счет использования магнитно-жидкостного уплотнения
  • Неограниченный угол поворота
  • Программируемая ориентация по базовому и дополнительному срезу
  • Интерфейс управления Ethernet или RS-232
  • Конфигурируемость размера пластины при помощи регулировки настроек аппаратных средств и ПО

Опции:

  • Держатели доступны для всех размеров пластин и большинства подложкодержателей
  • Конфигурирование для непрозрачных или прозрачных материалов

ПараметрHA 71A 200HA 75A 300
Размер пластины≤ 200мм≤ 300мм
Тип подложекПрозрачные и непрозрачныеПрозрачные и непрозрачные
Рабочее давление1.00 х 10-9 Торр1.00 х 10-9 Торр
Натекание5.00 х 10-9 Торр5.00 х 10-9 Торр
Питание24В DC при 2А24В DC при 1А
Время выравнивания пластины5-10с5-10с
Макс. температура100⁰C
Материалы6061‐T6 Al, нержавеющая сталь 300 и 400 серий, Viton
Интерфейс управленияRS‐232 / Ethernet
MCBF (циклов до ошибки)3 х 1063 х 106