ДОСТАВКА ПО РОССИИ И СТРАНАМ СНГ
РЕЖИМ РАБОТЫ
09.00-18.00, пн-пт

Установка атомно-слоевого осаждения ZP-400L

ZP-400L - установка атомно-слоевого осаждения, разработанная специально для промышленного, крупносерийного производства. Имеет 4 рабочих камеры для групповой обработки пластин размером до 200 мм. Каждая камера вмещает до 400 пластин, что обеспечивает непревзойденные показатели производительности. Широкая библиотека процессов позволяет осаждать тонкие пленки оксидов (TiO2, HfO2, SiO2, ZnO, ZrO2, Al2O3, La2O3, SnO2 и тд.), нитридов (TiN, SiN, AlN, TaN, ZrN, HfN, WN и тд.) металлов (Co, Cu, Ta, Ti, W, Ge, Pt, Ru, Ni, Fe), полупроводники A2B6, A3B5 и сложные оксиды (GaAs, AlP, InP, GaP, InAs, LaHfxOy, SrTiO3, SrTaO6). Широко применяется в технологии производства МЭМС, НЭМС, ОСИД и плоских дисплеев, солнечных элементов, при нанесении оптических и наноразмерных покрытий.

Осаждаемые материалы:

  • оксиды (TiO2, HfO2, SiO2, ZnO, ZrO2, Al2O3, La2O3, SnO2 и т.д.)
  • нитриды (TiN, SiN, AlN, TaN, ZrN, HfN, WN и т.д.)
  • металлы (Co, Cu, Ta, Ti, W, Ge, Pt, Ru, Ni, Fe)
  • полупроводники A2B6, A3B5 и сложные оксиды (GaAs, AlP, InP, GaP, InAs, LaHfxOy, SrTiO3, SrTaO6)

Особенности:

  • Установка разработана специально для промышленного, крупносерийного производства
  • 4 рабочих камеры для групповой обработки пластин размером до 200 мм
  • Регулируемая температура подложки 25 – 500°C
  • Подогреваемые линии подачи прекурсоров (в зависимости от конфигурации прекурсоров). Стандартно 2 линии
  • Время цикла осаждения составляет 5 с
  • Система управления на основе PLC и сенсорного дисплея, с возможностью задания параметров технологического процесса
  • Установка в условиях чистых помещений
 Технические характеристики
Размер пластинДо 200 мм включительно
Температура подложкиОт комнатной до 500⁰С, с точностью ± 0,1⁰С
Линии подачи прекурсоров2 линии (опционально - большее число)
Температура линии подачи прекурсоровОт комнатной до 200⁰С, с точностью ± 0,1⁰С
Специальные ALD клапаныSwagelok ALD
Предельное давление<5∙10-3 Торр
Газ-носительN2 или Ar
Режим осажденияПоследовательный или интервальный
Система управленияPLC и сенсорный экран/дисплей
Питание50-60 Гц, 220 В / 20 A AC
Равномерность осажденияПо пластине < ± 1%
Между пластинами < ± 1,5%
Производительность4 рабочие камеры
Каждая камера вмещает до 400 пластин
Время цикла осаждения5 с
Габаритные размеры, мм3000x800x2400
ОпцииДополнительные линии подачи прекурсоров;
Расширенный диапазон температур для подогреваемых линий подачи прекурсоров;