Криогенные насосы

Криогенные вакуумные насосы являются оптимальным откачным средством для применений, требующих глубокого безмасляного вакуума и больших скоростей откачки. При этом, они обеспечивают высокую производительность не только по наиболее распространенным газам, но и по водяному пару, удаление которых традиционно представляет большую проблему для прикладных процессов в вакууме.

Сферы применения:

  • полупроводниковая промышленность: осаждение методом распыления, ионная имплантация, производство тонких пленок (вакуумное испарение) и LCD/OLED
  • научные исследования, в том числе в оснащении ТОКАМАКов, экспериментальных термоядерных реакторов (ИТЭР), ускорителей заряженных частиц ( коллайдеров )
  • имитаторы космического пространства
  • металлургия чистых металлов
  • установки термоядерного синтеза.

Преимущества:

  • ценовая доступность – по сравнению с насосами аналогичной производительности и чистоты получаемого вакуума. Также, уровень цен на криогенные вакуумные насосы ZP-DU ощутимо ниже, чем на изделия американского или японского производства.
  • высокая надежность – наличие 2 международных патентов, криоголовки производства Японии. Наработка до первого обслуживания – не менее 30 000 рабочих часов.
  • низкие затраты на обслуживание в связи с наличием авторизованного сервисного центра в Москве, выполняющего работы не только по плановому обслуживанию, но и по восстановлению оборудования. 

Каталог криогенных насосов

Базовая серия

Базовая серия – высокопроизводительные насосы с присоединительными фланцами DN200-DN500, которые широко используются для производства LCD/OLED, вакуумного напыления и испарения. Обладают очень хорошей устойчивостью к тепловому воздействию. Уникальный дизайн первой ступени насоса, конденсирующей пары воды - радиальные элементы, в отличии от стандартных поперечных элементов, обеспечивают лучшую проходимость Ar/N2/H2, конденсирующихся на второй ступени насоса или поглощающихся угольным фильтром.Также, эти модели имеют расширенную емкость второй ступени насоса/ площадь криопанели, позволяющую конденсировать больше Ar/N2; имеют больший интервал между регенерациями.

Вакуумный криогенный насос ZP-DU320 Криогенный насос ZP-DU320
Производительность по Азоту: 4,000 л/с Наличие:
Производительность по Водороду: 6,000 л/с Цена (руб.): По запросу
Производительность по Аргону: 3,300 л/с    
Производительность по Парам воды: 10,000 л/с Купить
Фланец: ISO320
UVG-300
Вакуумный криогенный насос ZP-DU400 Криогенный насос ZP-DU400
Производительность по Азоту: 5,000 Наличие:
Производительность по Водороду: 10,000 Цена (руб.): По запросу
Производительность по Аргону: 4,500    
Производительность по Парам воды: 16,000 Купить
Фланец: ISO400
16”CVC
UVG400
Вакуумный криогенный насос ZP-DU500 Криогенный насос ZP-DU500
Производительность по Азоту: 10,000 Наличие:
Производительность по Водороду: 16,000 Цена (руб.): По запросу
Производительность по Аргону: 8,500    
Производительность по Парам воды: 29,000 Купить
Фланец: ISO500
UVG500

С эргономичным дизайном

С эргономичным дизайном - специальный F-дизайн, обладает значительно меньшим габаритными размерами.

Вакуумный криогенный насос ZP-DU320F Криогенный насос ZP-DU320F
Производительность по Азоту: 4,000 л/с Наличие:
Производительность по Водороду: 6,000 л/с Цена (руб.): По запросу
Производительность по Аргону: 3,300 л/с    
Производительность по Парам воды: 10,000 л/с Купить
Фланец: ISO300
UVG-300
Вакуумный криогенный насос ZP-DU400F Криогенный насос ZP-DU400F
Производительность по Азоту: 5,000 л/с Наличие:
Производительность по Водороду: 10,000 л/с Цена (руб.): По запросу
Производительность по Аргону: 4,500 л/с    
Производительность по Парам воды: 16,000 л/с Купить
Фланец: ISO400
16”CVC
UVG400
Вакуумный криогенный насос ZP-DU500F Криогенный насос ZP-DU500F
Производительность по Азоту: 5,000 л/с Наличие:
Производительность по Водороду: 10,000 л/с Цена (руб.): По запросу
Производительность по Аргону: 4,500 л/с    
Производительность по Парам воды: 16,000 л/с Купить
Фланец: ISO500
UVG500

Со встроенным контроллером

Контроллер позволяет полностью контролировать температуру захолаживания первой ступени, предотвращая «зависание» Ar.

О сервисе

Доставка по Москве и МО на следующий день после заказа.
Доставка по всей России и СНГ.
Наличие на складе и возможность поставки в сжатые сроки под потребности Заказчика.
Расширенная гарантия и специальные цены для OEM производителей.
Гибкие условия оплаты
Работа по 44-ФЗ, 223-ФЗ, Гос Контрактам и ГОЗ ( государственному оборонному заказу ), по спец. Счетам и с казначейским сопровождением.
Собственный сервисный центр по ремонту криогенных насосов.

Наши клиенты

Среди постоянных клиентов более 70 отечественных предприятий, в том числе:

Принцип работы насосов

Принцип работы состоит в конденсации молекул газа на охлажденных поверхностях. Газы накапливаются в твердой фазе, таким образом, насос способен аккумулировать их в большом количестве. После наполнения, производится регенерация насоса, после чего он снова готов к работе.

Криоголовка криогенного насоса состоит из 2 ступеней:

Криоголовка криогенного насоса
  • Первая ступень (входная) конденсирует молекулы водяного пара и тяжелые углеводороды при температурах около 35-77 К.
  • Вторая ступень (конденсирующая) захватывает молекулы аргона, азота, кислорода и других газов при температурах от 10-20 К. Те газы (например, водород и гелий), которые не переходят в твердую фазу при данных температурах, адсорбируются на активированном угле при температурах около 9-20 К.

Комплект поставки включает все необходимые элементы для запуска и работы насоса: гелиевый компрессор, полимерные трубки для подачи гелия, кабель криоголовки, температурный контроллер с дисплеем и соединительными кабелями, нагревательную рубашку и клапан напуска.