Криогенные насосы

Криогенные вакуумные насосы являются оптимальным откачным средством для применений, требующих глубокого безмасляного вакуума и больших скоростей откачки. При этом, они обеспечивают высокую производительность не только по наиболее распространенным газам, но и по парам воды, удаление которых традиционно представляет большую проблему для прикладных процессов в вакууме.

Сферы применения: осаждение методом распыления, ионная имплантация, производство тонких пленок (вакуумное испарение) и LCD/OLED, научные исследования, имитация космического пространства,металлургии чистых металлов, в установках термоядерного синтезаи т.д.

Преимущества:
  • ценовая доступность – по сравнению с насосами аналогичной производительности и чистоты получаемого вакуума. Также, уровень цен на криогенные вакуумные насосы ZP-DU ощутимо ниже, чем на изделия американского или японского производства.
  • высокая надежность – наличие 2 международных патентов, криоголовки производства Японии. Наработка до первого обслуживания – не менее 30 000 рабочих часов.
  • низкие затраты на обслуживание в связи с наличием авторизованного сервисного центра в Москве, выполняющего работы не только по плановому обслуживанию, но и по восстановлению оборудования.

Принцип работы состоит в конденсации молекул газа на охлажденных поверхностях. Газы накапливаются в твердой фазе, таким образом, насос способен аккумулировать их в большом количестве. После наполнения, производится регенерация насоса, после чего он снова готов к работе.

Криоголовка криогенного насоса состоит из 2 ступеней:
Криоголовка криогенного насоса
  • Первая ступень (входная) конденсирует молекулы водяного пара и тяжелые углеводороды при температурах около 35-77 К.
  • Вторая ступень (конденсирующая) захватывает молекулы аргона, азота, кислорода и других газов при температурах от 10-20 К. Те газы (например, водород и гелий), которые не переходят в твердую фазу при данных температурах, адсорбируются на активированном угле при температурах около 9-20 К.

Комплект поставки включает все необходимые элементы для запуска и работы насоса: гелиевый компрессор, полимерные трубки для подачи гелия, кабель криоголовки, температурный контроллер с дисплеем и соединительными кабелями, нагревательную рубашку и клапан напуска.

Выпускаются следующие серии:
    Криогенные насосы в СПб
  • базовая серия – высокопроизводительные насосы с присоединительными фланцами DN200-DN500, которые широко используются для производства LCD/OLED, вакуумного напыления и испарения. Обладают очень хорошей устойчивостью к тепловому воздействию. Уникальный дизайн первой ступени насоса, конденсирующей пары воды - радиальные элементы, в отличии от стандартных поперечных элементов, обеспечивают лучшую проходимость Ar/N2/H2, конденсирующихся на второй ступени насоса или поглощающихся угольным фильтром.Также, эти модели имеют расширенную емкость второй ступени насоса/ площадь криопанели, позволяющую конденсировать больше Ar/N2; имеют больший интервал между регенерациями.
  • со встроенным контроллером. Контроллер позволяет полностью контролировать температуру захолаживания первой ступени, предотвращая «зависание» Ar.
  • с эргономичным дизайном - специальный F-дизайн, обладает значительно меньшим габаритными размерами.