Установка нанесения фоторезиста Laurell Spin Coater позволяет наносить фоторезист на пластины диаметром до 300 мм. Отлично подходит для исследовательских задач и мелкосерийном производстве при работе с разными материалами. Назначение:

  • нанесение тонких органических полимеров, различных оксидов из растворов и магнитных пленок, а также оптических покрытий;
  • нанесение фоторезистивных слоев.

Имеет закрытую чашу, что позволяет высохнуть материалу в спокойном состоянии.

Основные преимущества:
  • компактный дизайн для настольного применения;
  • цветной сенсорный дисплей, удобный графический интерфейс пользователя;
  • коррозионностойкое исполнение;
  • дозирующие насадки для использования до 4х различных фоторезистов одновременно;
  • удобный интерфейс.
Опционально доступно большое количество функций:
  • адаптеры для любого вида подложек;
  • автоматический дозатор;
  • отмывка края подложки;
  • дистанционное управление на планшете;
  • конструктивная совместимость с перчаточным боксом
Технические характеристики:
  • Камера 9,5’’
  • Настольное исполнение
  • Возможность работы с пластинами диаметром до 300 мм
  • Скорость вращения: 0-12.000 об/мин
  • Ускорение 200 об/с2
  • Таймер: 1 с до 99 мин. 59.9 с, шаг 0,1 с
  • Позволяет хранить до 20 рецептов в памяти (до 51 шагов в рецепте)
  • Полипропиленовый корпус
  • Полипропиленовый вакуумный держатель Ø1,75" (45 мм) для подложек 50-150 мм
  • Специальный адаптер-держатель (крепится поверх стандартного держателя) для работы с образцами размером 10-50 мм
  • Полипропиленовый резервуар емкостью 250 мл для сбора отходов
  • Цифровой контроллер для программирования параметров процесса
  • Встроенный интерфейс SPIN 3000 и интуитивное ПО для управления
  • Высокопроизводительный привод HPD-2
  • Прозрачная ECTFE крышка (открывается вверх)
  • Слив Ø38 мм и порт продувки азотом
  • Наличие защитных блокировок для безопасной работы оператора
  • Питание 95-240 ВAC, 47/63 Гц, 300 Вт