Настольная установка магнетронного напыления DST3

DST3 – настольная установка магнетронного напыления с тремя магнетронами, диаметром 2" (50мм). Позволяет напылять металлы, диэлектрики, полупроводники на подложки диаметром до 200мм.

Доступны 2 конфигурации:

  • DST3 А – с 30˚ наклоном катодов
  • DST3 S – катоды выстроены с линию

Особенности:

  • Простая конструкция и дружественный интерфейс позволяют оператору легко и быстро проводить обработку образцов
  • Позволяет проводить процесс последовательно или одновременно с трех катодов.
  • Вакуумная камера диаметром 12" позволяет работать с образцами и п/п пластинами диаметром до 200мм
  • Благодаря материалу Pyrex, можно легко производить очистку рабочей камеры
  • Цветной, сенсорный экран позволяет просматривать лог-файлы последних 200 процессов напыления
  • Графическое отображение давления, толщины и тока во время процесса позволяет с высокой точностью управлять процессом напыления
  • Автоматический контроль температуры катодов
  • Ручная и автоматическая обработка
  • Напыление по времени или по требуемой толщине
  • Высокоточная система контроля толщины на основе кварцевого датчика
  • Защита от перегрева образца
  • Прецизионный регулятор потока (MFC) для подачи Ar в камеру
  • Перенос параметров процесса на USB носитель
 Технические характеристики
Вакуумная камераДиаметр 300 мм, Высота 180мм
Материал Pyrex
Количество магнетронов3 с водяным охлаждением
(опционально 1 или 2)
Диаметр магнетрона2" (опционально 4")
Источник питания магнетрона0-1000 мА
Вакуумная системаТурбомолекулярный насос
Сухой форвакуумный насос
Предельный вакуум9х10-6 Торр
Расстояние между магнетроном и подложкойРегулируемое, 4-10 см
Датчик давленияAтм - 1x10-6 мбар
Газовая линияAr, с прецизионным регулятором (MFC)
Система управленияНа основе PLC
Цветной, сенсорный экран 7"
Питание220 Вт, 50 Гц, 6 А
Вес (без форвакуумного насоса)27 кг
Габаритные размеры
(ШxГхВ)
60см х 50см х 47см
ОпцииВращающийся подложкодержатель;
Дополнительная камера (материал Pyrex);
ВЧ источник питания 600Вт;
N2 для напуска;
Мишени для напыления;
Кристаллы кварца для датчика толщины;