ДОСТАВКА ПО РОССИИ И СТРАНАМ СНГ
РЕЖИМ РАБОТЫ
09.00-18.00, пн-пт

Одиночные шлюзы загрузки пластин разработаны, чтобы исключить необходимость откачивать вакуумную камеру перед каждым технологическим процессом. Одиночные шлюзы загрузки пластин обладают компактными размерами, оснащены программируемым двигателем, линейным механизмом движения. Это позволяет использовать их в качестве автоматизированного шлюза загрузки пластины в камеру.

Особенности:

  • Базовая камера
  • Обзорные и вакуумные порты
  • Защитные интерлоки и датчик пластины
  • Механизм линейного движения
  • Программирование механизма через RS-232, Ethernet или DeviceNet

ПараметрStar SL-200Star SL-300Star SL-450
Размеры пластин≤ 200мм≤ 300мм≤ 450мм
Максимальная грузоподъемность1,5 кг1,5 кг5 кг
Оси движенияR, ZR, ZR, Z
Рабочее давление5.00 х 10-7 Торр5.00 х 10-7 Торр5.00 х 10-7 Торр
Натекание1.00 х 10-9 см3 He/c1.00 х 10-9 см3 He/c1.00 х 10-9 см3 He/c
Питание24В DC при 2А24В DC при 2А24В DC при 2А
Макс. температура100⁰C
Материалы6061‐T6 Al, нержавеющая сталь 300 и 400 серий, Viton, БСС, Crytox, Delrin, PEEK
Интерфейс управленияRS‐232 / Ethernet
MCBF (циклов до ошибки)>3 х 105
Воспроизводимость (R, Z)0,15мм; 0,10мм
Максимальный вылет305мм355мм635мм