Ионно-геттерные вакуумные насосы – это безмасляные насосы, использующиеся для получения высокого и сверхвысокого вакуума, способные создавать вакуум в пределах 1×10-9 Па. Для надежной и длительной работы требуют нескольких ступеней предварительной откачки (например, турбомолекулярный и спиральный насосы), рекомендуемое стартовое давление 1×10-3 Па.

Преимущества:

  • устойчивы к аварийному отключению электроэнергии;
  • бесшумная работа;
  • отсутствует вибрация на фланцах;
  • не требуют непрерывной работы форвакуумных насосов;
  • не требуют охлаждения;
  • позволяют получать сверхвысокий вакуум;
  • в комплектацию входит современный промышленный контроллер с поддержкой протокола Modbus-2 и цветным сенсорным дисплеем, отображающим основные параметры работы – напряжение, ток и давление;
  • поставляются в виде готовой к эксплуатации системы.

Принцип действия
В ионно-геттерных насосах совмещаются геттерные и ионные методы откачки.

В основе работы ионно-геттерных насосов лежат хемосорбция (активных газов) и блокирование (инертных газов): поглощение газов периодически или непрерывно наносимой пленкой титана и улучшение откачки инертных газов и углеводородов путем ионизации и улавливания положительных ионов.

Эффект ионно-геттерного откачивания газа обусловлен высокой химической активностью ионизированных молекул, способных проникать в поверхностный слой распыляемых частичек геттера и химически взаимодействовать с ним.