Турбомолекулярный насос — один из видов вакуумных насосов, обеспечивающих создание и поддержание высокого вакуума. Действие турбомолекулярного насоса основано на сообщении молекулам откачиваемого газа дополнительной скорости в направлении откачки вращающимся ротором. Ротор состоит из системы дисков. Вакуум, создаваемый турбомолекулярным насосом, от 10-4 Па до 10-8 Па. Скорость вращения ротора составляет десятки тысяч оборотов в минуту. Конструкция гибридных турбомолекулярных насосов объединяет турбомолекулярную и молекулярную ступени. Это позволяет увеличить степень сжатия для легких газов (гелий, водород) и увеличить максимально допустимое давление в форвакуумной линии.

При заказе насосов этого типа необходимо помнить, что для правильной работы всех типов турбомолекулярных насосов при откачке с атмосферного или избыточного давления, необходим форвакуумный насос предварительного разряжения.

Компания ЗЭНКО ПЛАЗМА поставляет несколько серий турбомолекулярных насосов:

Серия CFB-Z – гибридные турбомолекулярные насосы с керамическими подшипниками на консистентной смазке. Включает 5 моделей – от 100 до 2000 л/с. Насосы CFB-Z могут производиться в корозионностойком исполнении и с повышенной устойчивостью к атмосферным ударам. Их преимущества:

  • Стабильная работа
  • Отсутствие масла, консистентная смазка
  • Необслуживаемые керамические подшипники
  • Шарики подшипника выполнены из нитрида кремния
  • Установка в любом пространственном положении

Серия CXF – турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора (и верхний, и нижний подшипники – магнитные). Включает три высокопроизводительные модели (1400, 2300 и 3000 л/с).

Насосы такого типа применяются в полупроводниковой промышленности, R&D, ионной имплантации, для магнетронного напыления, имитации космического пространства. Данная серия имеет ряд неоспоримых преимуществ:

  • Высокая чистота
  • Чрезвычайно низкая вибрация и низкий уровень шума
  • Отсутствие необходимости в обслуживании
  • Отсутствие механического износа подшипников
  • 5-ти осевой магнитный подшипник
  • Мониторинг и автоматический баланс работы ротора
  • Установка в любом пространственном положении
  • Автоматическая защита от перебоев энергоснабжения и прорыва атмосферы

Серия FF – гибридные турбомолекулярные насосы с керамическими подшипниками на консистентной смазке; включает серию насосов в компактном исполнении с интегрированным контроллером (от 25 до 300 л/с) и высокопроизводительные насосы для промышленного применения с внешним контроллером (от 700 до 2000 л/с).

Компактная серия FF специально спроектирована для применения в масс-спектрометрии, течеискателях, R&D. Ее особенности:

  • Интегрированный контроллер
  • Модульный дизайн контроллера с поддержкой всех современных протоколов
  • Отсутствие масла, консистентная смазка
  • Установка в любом пространственном положении
  • Сниженные требования к форвакуумному давлению (50Па)

Промышленные турбомолекулярные насосы FF применяются в вакуумном напылении, осаждении покрытий, вакуумных печах, полупроводниковом производстве, TFT/LCD, фармацевтике, химической промышленности, вакуумной сушке, дегазации, имитации космического пространства. Особенности этой серии:

  • Стабильная и надежная работа
  • Монолитный ротор
  • Отсутствие масла, консистентная смазка
  • Необслуживаемые керамические подшипники
  • Шарики подшипника выполнены из нитрида кремния
  • Установка в любом пространственном положении
  • Высокая производительность при небольших габаритных размерах