Турбомолекулярные насосы

Турбомолекулярный насос — вид вакуумных насосов, нацеленный на создание высокого вакуума. Принцип действия насоса основан на передаче молекулам откачиваемого газа, дополнительной скорости в направлении откачки вращающимся ротором. Ротор состоит из системы дисков. Создаваемый вакуум от 10^-4 Па до 10^-8Па. Ротор вращается со скоростью десятки тысяч оборотов в минуту. Конструкция гибридных турбомолекулярных насосов объединяет турбомолекулярную и молекулярную ступени. Это позволяет увеличить степень сжатия для легких газов (гелий, водород) и увеличить максимально допустимое давление в форвакуумной линии.

При покупке насосов этого типа необходимо помнить, что для правильной работы всех типов турбомолекулярных насосов при откачке с атмосферного или избыточного давления, необходим форвакуумный насос предварительного разрежения.

Поставляемые серии вакуумных турбомолекулярных насосов

Серия CXF

Серия CXF – турбомолекулярные вакуумные насосы с полностью магнитным подвесом ротора (и верхний, и нижний подшипники – магнитные). Включает три высокопроизводительные модели (1400, 2300 и 3000 л/с) с интегрированным контроллером.

Насосы такого типа применяются в полупроводниковой промышленности, R&D, ионной имплантации, для магнетронного напыления, имитации космического пространства. Данная серия имеет ряд неоспоримых преимуществ:

Высокая чистота
Чрезвычайно низкая вибрация и низкий уровень шума
Отсутствие необходимости в обслуживании
Отсутствие механического износа подшипников
5-ти осевой магнитный подшипник
Мониторинг и автоматический баланс работы ротора
Установка в любом пространственном положении
Автоматическая защита от перебоев энергоснабжения и прорыва атмосферы

Основные характеристики моделей

Фото	Модель	Вес, кг	Впускной порт	Охлаждение	Подшипник	Производительность, л/с	Цена (руб.)
	CXF-200/1401Е	51,2	ISO-K200/ CF200	Водяное	Магнитные	1400	По запросу
	CXF-250/2301Е	60,3	ISO-K250/ CF250	Водяное	Магнитные	2300	По запросу
	CXF-320/3001Е	76,5	ISO-F320	Водяное	Магнитные	3200	По запросу

Серия FF

Серия FF – гибридные вакуумные турбомолекулярные насосы с керамическими подшипниками на консистентной смазке; включает серию насосов в компактном исполнении с интегрированным контроллером (от 25 до 300 л/с) и высокопроизводительные насосы для промышленного применения с внешним контроллером (от 700 до 2000 л/с).

Компактная серия FF

Компактная серия FF специально спроектирована для применения в масс-спектрометрии, течеискателях, R&D. Ее особенности:

Интегрированный контроллер
Модульный дизайн контроллера с поддержкой всех современных протоколов
Отсутствие масла, консистентная смазка
Установка в любом пространственном положении
Сниженные требования к форвакуумному давлению

Основные характеристики моделей

Фото	Модель	Вес, кг	Впускной порт	Охлаждение	Производительность, л/с	Цена (руб.)
	FF-40/25E	3	KF40	Воздушное	25	по запросу
	FF-63/80E	3.5	ISO-K63/ CF63	Воздушное / водяное	70	по запросу
	FF-100/150E	8.6	ISO-K100/ CF100	Воздушное / водяное	150	по запросу
	FF-100/300E	11	ISO-K100/ CF100	Воздушное/ водяное	300	по запросу

Промышленные турбомолекулярные насосы FF

Промышленные турбомолекулярные насосы FF применяются в вакуумном напылении, осаждении покрытий, вакуумных печах, полупроводниковом производстве, TFT/LCD, фармацевтике, химической промышленности, вакуумной сушке, дегазации, имитации космического пространства. Особенности этой серии:

Стабильная и надежная работа
Монолитный ротор
Отсутствие масла, консистентная смазка
Необслуживаемые керамические подшипники
Шарики подшипника выполнены из нитрида кремния
Установка в любом пространственном положении
Высокая производительность при небольших габаритных размерах

Фото	Модель	Вес, кг	Впускной порт	Охлаждение	Подшипник	Производительность, л/с	Цена (руб.)
	FF-160/700FE	23	ISO-K160/ CF150	Воздушное	Керамические	700	по запросу
	FF-200/1300FE	33	ISO-K200/ CF200	Воздушное	Керамические	1300	по запросу
	FF-160/700E	53	DN160 ISO-K / DN 160 CF	Вода	Керамические	700	по запросу
	FF-200 / 1300E	70	DN200 ISO-K / DN200 CF	Вода	Керамические	1300	по запросу
	FF-250 / 2000E	70	DN250 ISO-K	Вода	Керамические	2000	по запросу
	FF-160-700N	19	ISO-K160 / CF150	Воздушное / водяное	Керамические	700	по запросу
	FF-200/1300N	29	ISO-K200 / CF200	Воздушное / водяное	Керамические	1300	по запросу