Турбомолекулярный насос — вид вакуумных насосов, нацеленный на создание высокого вакуума. Принцип действия насоса основан на передаче молекулам откачиваемого газа, дополнительной скорости в направлении откачки вращающимся ротором. Ротор состоит из системы дисков. Создаваемый вакуум от 10-4 Па до 10-8 Па. Ротор вращается со скоростью десятки тысяч оборотов в минуту. Конструкция гибридных турбомолекулярных насосов объединяет турбомолекулярную и молекулярную ступени. Это позволяет увеличить степень сжатия для легких газов (гелий, водород) и увеличить максимально допустимое давление в форвакуумной линии.

При покупке насосов этого типа необходимо помнить, что для правильной работы всех типов турбомолекулярных насосов при откачке с атмосферного или избыточного давления, необходим форвакуумный насос предварительного разрежения.

Поставляемые серии вакуумных турбомолекулярных насосов

Серия CXF

Серия CXF – турбомолекулярные вакуумные насосы с полностью магнитным подвесом ротора (и верхний, и нижний подшипники – магнитные). Включает три высокопроизводительные модели (1400, 2300 и 3000 л/с) с интегрированным контроллером.

Насосы такого типа применяются в полупроводниковой промышленности, R&D, ионной имплантации, для магнетронного напыления, имитации космического пространства. Данная серия имеет ряд неоспоримых преимуществ:

  • Высокая чистота
  • Чрезвычайно низкая вибрация и низкий уровень шума
  • Отсутствие необходимости в обслуживании
  • Отсутствие механического износа подшипников
  • 5-ти осевой магнитный подшипник
  • Мониторинг и автоматический баланс работы ротора
  • Установка в любом пространственном положении
  • Автоматическая защита от перебоев энергоснабжения и прорыва атмосферы

Основные характеристики моделей

Фото Модель Вес, кг Впускной порт Охлаждение Подшипник Производительность, л/с Цена (руб.)
 Турбомолекулярный насос серии CFX CXF-200/1401Е 51,2 ISO-K200/ CF200 Водяное Магнитные 1400 По запросу
 Турбомолекулярный насос серии CFX CXF-250/2301Е 60,3 ISO-K250/ CF250 Водяное Магнитные 2300 По запросу
 Турбомолекулярный насос серии CFX CXF-320/3001Е 76,5 ISO-F320 Водяное Магнитные 3200 По запросу

Серия FF

Серия FF – гибридные вакуумные турбомолекулярные насосы с керамическими подшипниками на консистентной смазке; включает серию насосов в компактном исполнении с интегрированным контроллером (от 25 до 300 л/с) и высокопроизводительные насосы для промышленного применения с внешним контроллером (от 700 до 2000 л/с).

Компактная серия FF

Компактная серия FF специально спроектирована для применения в масс-спектрометрии, течеискателях, R&D. Ее особенности:

  • Интегрированный контроллер
  • Модульный дизайн контроллера с поддержкой всех современных протоколов
  • Отсутствие масла, консистентная смазка
  • Установка в любом пространственном положении
  • Сниженные требования к форвакуумному давлению 

Основные характеристики моделей

Фото Модель Вес, кг Впускной порт Охлаждение Производительность, л/с Цена (руб.)
Турбомолекулярный вакуумный насос серии FF  FF-40/25E 3 KF40 Воздушное 25 по запросу
 Турбомолекулярный вакуумный насос серии FF FF-63/80E 3.5 ISO-K63/ CF63 Воздушное / водяное 70 по запросу
 Турбомолекулярный вакуумный насос серии FF FF-100/150E 8.6 ISO-K100/ CF100 Воздушное / водяное 150 по запросу
Турбомолекулярный вакуумный насос серии FF  FF-100/300E 11 ISO-K100/ CF100 Воздушное/ водяное 300 по запросу

Промышленные турбомолекулярные насосы FF

Промышленные турбомолекулярные насосы FF применяются в вакуумном напылении, осаждении покрытий, вакуумных печах, полупроводниковом производстве, TFT/LCD, фармацевтике, химической промышленности, вакуумной сушке, дегазации, имитации космического пространства. Особенности этой серии:

  • Стабильная и надежная работа
  • Монолитный ротор
  • Отсутствие масла, консистентная смазка
  • Необслуживаемые керамические подшипники
  • Шарики подшипника выполнены из нитрида кремния
  • Установка в любом пространственном положении
  • Высокая производительность при небольших габаритных размерах
Фото Модель Вес, кг Впускной порт Охлаждение Подшипник Производительность, л/с Цена (руб.)
 Турбомолекулярный вакуумный насос серии FF FF-160/700FE 23 ISO-K160/ CF150 Воздушное Керамические 700 по запросу
Турбомолекулярный вакуумный насос серии FF  FF-200/1300FE 33 ISO-K200/ CF200 Воздушное Керамические 1300 по запросу
Турбомолекулярный вакуумный насос серии FF  FF-160/700E 53 DN160 ISO-K / DN 160 CF Вода Керамические 700 по запросу
Турбомолекулярный вакуумный насос серии FF  FF-200 / 1300E 70 DN200 ISO-K / DN200 CF Вода Керамические 1300 по запросу
Турбомолекулярный вакуумный насос серии FF  FF-250 / 2000E 70 DN250 ISO-K Вода Керамические 2000 по запросу
Турбомолекулярный вакуумный насос серии FF FF-160-700N 19 ISO-K160 / CF150 Воздушное / водяное Керамические 700 по запросу
Турбомолекулярный вакуумный насос серии FF FF-200/1300N 29 ISO-K200 / CF200 Воздушное / водяное Керамические 1300 по запросу