Турбомолекулярные насосы

Турбомолекулярный насос — один из видов вакуумных насосов, обеспечивающих создание и поддержание высокого вакуума. Действие турбомолекулярного насоса основано на сообщении молекулам откачиваемого газа дополнительной скорости в направлении откачки вращающимся ротором. Ротор состоит из системы дисков. Вакуум, создаваемый турбомолекулярным насосом, от 10^-4 Па до 10^-8 Па. Скорость вращения ротора составляет десятки тысяч оборотов в минуту. Конструкция гибридных турбомолекулярных насосов объединяет турбомолекулярную и молекулярную ступени. Это позволяет увеличить степень сжатия для легких газов (гелий, водород) и увеличить максимально допустимое давление в форвакуумной линии.

При заказе насосов этого типа необходимо помнить, что для правильной работы всех типов турбомолекулярных насосов при откачке с атмосферного или избыточного давления, необходим форвакуумный насос предварительного разряжения.

Компания ЗЭНКО ПЛАЗМА поставляет несколько серий турбомолекулярных насосов:

Серия CFB-Z – гибридные турбомолекулярные насосы с керамическими подшипниками на консистентной смазке. Включает 5 моделей – от 100 до 2000 л/с. Насосы CFB-Z могут производиться в корозионностойком исполнении и с повышенной устойчивостью к атмосферным ударам. Их преимущества:

• Стабильная работа
• Отсутствие масла, консистентная смазка
• Необслуживаемые керамические подшипники
• Шарики подшипника выполнены из нитрида кремния
• Установка в любом пространственном положении

Серия CXF – турбомолекулярные насосы с полностью магнитным подвесом ротора (и верхний, и нижний подшипники – магнитные). Включает три высокопроизводительные модели (1400, 2300 и 3000 л/с).

Насосы такого типа применяются в полупроводниковой промышленности, R&D, ионной имплантации, для магнетронного напыления, имитации космического пространства. Данная серия имеет ряд неоспоримых преимуществ:

• Высокая чистота
• Чрезвычайно низкая вибрация и низкий уровень шума
• Отсутствие необходимости в обслуживании
• Отсутствие механического износа подшипников
• 5-ти осевой магнитный подшипник
• Мониторинг и автоматический баланс работы ротора
• Установка в любом пространственном положении
• Автоматическая защита от перебоев энергоснабжения и прорыва атмосферы

Серия FF – гибридные турбомолекулярные насосы с керамическими подшипниками на консистентной смазке; включает серию насосов в компактном исполнении с интегрированным контроллером (от 25 до 300 л/с) и высокопроизводительные насосы для промышленного применения с внешним контроллером (от 700 до 2000 л/с).

Компактная серия FF специально спроектирована для применения в масс-спектрометрии, течеискателях, R&D. Ее особенности:

• Интегрированный контроллер
• Модульный дизайн контроллера с поддержкой всех современных протоколов
• Отсутствие масла, консистентная смазка
• Установка в любом пространственном положении
• Сниженные требования к форвакуумному давлению (50Па)

Промышленные турбомолекулярные насосы FF применяются в вакуумном напылении, осаждении покрытий, вакуумных печах, полупроводниковом производстве, TFT/LCD, фармацевтике, химической промышленности, вакуумной сушке, дегазации, имитации космического пространства. Особенности этой серии:

• Стабильная и надежная работа
• Монолитный ротор
• Отсутствие масла, консистентная смазка
• Необслуживаемые керамические подшипники
• Шарики подшипника выполнены из нитрида кремния
• Установка в любом пространственном положении
• Высокая производительность при небольших габаритных размерах