Диффузионные насосы

Диффузионные паромасляные насосы предназначены для работы с высоким и сверхвысоким вакуумом, они имеют широкую область применения и могут быть использованы как в промышленности так и в исследовательских лабораториях. Высокая производительность диффузионных насосов позволяет использовать их в вакуумной металлургии, дистилляции под вакуумом, вакуумных системах нанесения покрытий и в ряде других промышленных отраслей. Производительность диффузионного паромасляного насоса зависит от размера входного сечения. Чем больше насос и выше производительность, тем выше предельное остаточное давление и ниже наибольшее выпускное давление. Поэтому появляется необходимость в использовании бустерного насоса, который мог бы обеспечить наилучшую производительность в диапазоне выпускных давлений диффузионного насоса, а выпускное давление соответствовало максимальной производительности форвакуумного насоса. То есть при использовании диффузионных насосов с производительностью свыше 10000 л/с необходимо включать в откачную систему бустерный насос. Также на предельно остаточное давление паромасляного диффузионного насоса влияют физические свойства используемой рабочей жидкости.

Критерии предъявляемые к рабочей жидкости:

  • минимальная упругость паров рабочей жидкости при комнатной температуре и максимальная при рабочей температуре в кипятильнике;
  • устойчивость к разложению при нагревании;
  • минимальная способность взаимодействия с парами газов;.
  • химическая устойчивость к откачиваемым газам и конструкционным материалам насоса;
  • минимальная температура парообразования.

Эти насосы способны создавать разряжение до 10-5 Па.