Вакуумное оборудование

Вакуумное оборудование играет важную роль в развитии современных технологий и находит свое применение при разработке технологического и промышленного производства, в системах вакуумной упаковки, в производстве полупроводников, в медицине, в химических и металлургических производствах, при имитации космического пространства и в области научных исследований, где для проведения большинства процессов требуется создание вакуума.

Сфера применения
Степень вакуума Давление (мбар) Сублима- ционная сушка Упаковоч- ная промыш- ленность Дегазация Литейная промыш- ленность Сухая вакуумная плавка Производ- ство ламп накаливания Электрон- ная микроско- пия
Низкий вакуум 1000 - 1
Средний вакуум 1 - 10-3
Высокий вакуум 10-3- 10-7
Сверх высокий вакуум 10-7- 10-12
Сфера применения
Степень вакуума Давление (мбар) Ядерная физика Физика плазмы Физика высоких энергий Ускорите- ли частиц Электрон- но-лучевые трубки Нанесение тонких пленок Симуля- ция космиче- ского прост- ранства Криоген- ные иссле- дования
Низкий вакуум 1000 - 1
Средний вакуум 1 - 10-3
Высокий вакуум 10-3- 10-7
Сверх высокий вакуум 10-7- 10-12

Для построения вакуумных линий и обеспечения их соединения между собой применяются специализированные фитинги, запорно-регулирующая арматура для возможности разделения вакуумных объемов, вакуумные насосы и вакуумные откачные системы, состоящие из нескольких насосов для создания необходимой глубины вакуума.

В зависимости от глубины вакуума могут быть использованы различные типы насосов их комбинаций:

Тип насоса
Степень вакуума Давление (мбар) Диафрагмен- ный Пластинчато- роторный Вихревой Криогенный Турбо- молекуляр- ный Ионно- геттерный
Низкий вакуум 1000 - 1
Средний вакуум 1 - 10-3
Высокий вакуум 10-3- 10-7
Сверх высокий вакуум 10-7 - 10-12

Многие современные технологические процессы, проходящие в вакууме требуют контроля давления в широком диапазоне. Так как не существует способа измерения всего требуемого диапазона давлений от атмосферы до глубокого вакуума, используются датчики, основанные на разных принципах действия:

Тип датчика
Степень вакуума Давление (мбар) Термо- парный Стрелоч- ный Тензо Мембра- нноем- костной Пирани Конвек- ционный Мембра- нноем- костный Широко- диапа- зонный Инверсно- магни-тронный Иониза- ционный
Низкий вакуум 1000 - 1
Средний вакуум 1 - 10-3
Высокий вакуум 10-3 - 10-7
Сверх высокий вакуум 10-7 - 10-12