Вакуумное оборудование играет важную роль в развитии современных технологий и находит свое применение при разработке технологического и промышленного производства, в системах вакуумной упаковки, в производстве полупроводников, в медицине, в химических и металлургических производствах, при имитации космического пространства и в области научных исследований, где для проведения большинства процессов требуется создание вакуума.
Сфера применения | ||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Глубина вакуума | Давление (мбар) | Сублимационная сушка | Упаковочная промышленность | Дегазация | Литейная промышленность | Сухая вакуумная плавка | Производство ламп накаливания | Электронная микроскопия |
Низкий вакуум | 1000 - 1 | |||||||
Средний вакуум | 1 - 10-3 | |||||||
Высокий вакуум | 10-3- 10-7 | |||||||
Сверх высокий вакуум | 10-7- 10-12 |
Сфера применения | |||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Глубина вакуума | Давление (мбар) | Ядерная физика | физика плазмы | Физика высоких энергий | Ускорители частиц | Электронно-лучевые трубки | Нанесение тонких пленок | Симуляция космического пространства | Криогенные исследования |
Низкий вакуум | 1000 - 1 | ||||||||
Средний вакуум | 1 - 10-3 | ||||||||
Высокий вакуум | 10-3- 10-7 | ||||||||
Сверх высокий вакуум | 10-7- 10-12 |
Для построения вакуумных линий и обеспечения их соединения между собой применяются специализированные фитинги, запорно-регулирующая арматура для возможности разделения вакуумных объемов, вакуумные насосы и вакуумные откачные системы, состоящие из нескольких насосов для создания необходимой глубины вакуума.
В зависимости от глубины вакуума могут быть использованы различные типы насосов их комбинаций:
Тип насоса | |||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Глубина вакуума | Давление (мбар) | Диафрагменный | Пластинчато- роторный | Вихревой | Криогенный | Турбо- молекулярный | Ионно- геттерный |
Низкий вакуум | 1000 - 1 | ||||||
Средний вакуум | 1 - 10-3 | ||||||
Высокий вакуум | 10-3- 10-7 | ||||||
Сверх высокий вакуум | 10-7 - 10-12 |
Многие современные технологические процессы, проходящие в вакууме требуют контроля давления в широком диапазоне. Так как не существует способа измерения всего требуемого диапазона давлений от атмосферы до глубокого вакуума, используются датчики, основанные на разных принципах действия:
Тип датчика | |||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Глубина вакуума | Давление (мбар) | Термопарный | Стрелочный | Тензо | Мембранно- емкостной | Пирани | Конвекционный | Мембранно- емкостный | Широко- диапазонный | Инверсно- магнитронный | Ионизационный |
Низкий вакуум | 1000 - 1 |
|
|
| | ||||||
Средний вакуум | 1 - 10-3 |
|
|
| | ||||||
Высокий вакуум | 10-3 - 10-7 | Сверх высокий вакуум | 10-7 - 10-12 |