Вакуумное оборудование

Вакуумное оборудование играет важную роль в развитии современных технологий и находит свое применение при разработке технологического и промышленного производства, в системах вакуумной упаковки, в производстве полупроводников, в медицине, в химических и металлургических производствах, при имитации космического пространства и в области научных исследований, где для проведения большинства процессов требуется создание вакуума.

Сфера применения
Глубина вакуума Давление (мбар) Сублимационная сушка Упаковочная промышленность Дегазация Литейная промышленность Сухая вакуумная плавка Производство ламп накаливания Электронная микроскопия
Низкий вакуум 1000 - 1
Средний вакуум 1 - 10-3
Высокий вакуум 10-3- 10-7
Сверх высокий вакуум 10-7- 10-12
Сфера применения
Глубина вакуума Давление (мбар) Ядерная физика физика плазмы Физика высоких энергий Ускорители частиц Электронно-лучевые трубки Нанесение тонких пленок Симуляция космического пространства Криогенные исследования
Низкий вакуум 1000 - 1
Средний вакуум 1 - 10-3
Высокий вакуум 10-3- 10-7
Сверх высокий вакуум 10-7- 10-12

Для построения вакуумных линий и обеспечения их соединения между собой применяются специализированные фитинги, запорно-регулирующая арматура для возможности разделения вакуумных объемов, вакуумные насосы и вакуумные откачные системы, состоящие из нескольких насосов для создания необходимой глубины вакуума.

В зависимости от глубины вакуума могут быть использованы различные типы насосов их комбинаций:

Тип насоса
Глубина вакуума Давление (мбар) Диафрагменный Пластинчато- роторный Вихревой Криогенный Турбо- молекулярный Ионно- геттерный
Низкий вакуум 1000 - 1
Средний вакуум 1 - 10-3
Высокий вакуум 10-3- 10-7
Сверх высокий вакуум 10-7 - 10-12

Многие современные технологические процессы, проходящие в вакууме требуют контроля давления в широком диапазоне. Так как не существует способа измерения всего требуемого диапазона давлений от атмосферы до глубокого вакуума, используются датчики, основанные на разных принципах действия:

Тип датчика
Глубина вакуума Давление (мбар) Термопарный Стрелочный Тензо Мембранно- емкостной Пирани Конвекционный Мембранно- емкостный Широко- диапазонный Инверсно- магнитронный Ионизационный
Низкий вакуум 1000 - 1
Средний вакуум 1 - 10-3
Высокий вакуум 10-3 - 10-7
Сверх высокий вакуум 10-7 - 10-12