Профилометры Nanosystems являются бесконтактными и используются в системах неразрушающего контроля на различных этапах производства изделий электроники или в процессе НИР/НИОКР. Линейка включает 3 основных типа профилометров, различающиеся по максимальному размеру образца, с которым позволяет работать профилометр.

Запатентованная технология WSI/PSI измеряет большое разнообразие поверхностных материалов и параметров, включая 2D и 3D профиль поверхности, формы, шаг-высота (0.1 nm - вертикальное и 0.2 um–боковое разрешения).

Wsi (White Light Scanning Interferometry) - это технология измерения площади поверхности, высоты и объема с высоким разрешением (0,1 нм) и высокой скоростью. Технология Wsi NanoSystem может без разрушения измерить образцы за несколько секунд высотой от 0.1 nm до 10000 µm и определить реальные формы 3D образцов. Повторяемость до 0.1% (1σ) и независимое увеличение, разрешение оси Z 0.1 nm.

Технические характеристики:

 NV- 1800NV- 2400NV- 2700
Измеряемый методWhite Light Scanning Interferometry (WSI) / Phase Shift Interferometry (PSI)White Light Scanning Interferometry (WSI) / Phase Shift Interferometry (PSI)White Light Scanning Interferometry (WSI) / Phase Shift Interferometry (PSI)
Интерферометрические объективыодинарные линзы5 линз (ручная смена)5 линз (автоматическая смена)
СветБелый LEDБелый LEDБелый LED
Метод сканированияPZT ScanningPZT ScanningPZT Scanning
Диапазон сканированиямакс 270umмакс 270umмакс 270um
Скорость сканированиябольше 12um/сек (lX ™ 5Xпо выбору)больше 12um/сек (lX ™ 5Xпо выбору)больше 12um/сек (lX ™ 5Xпо выбору)
Наклон±3°±6* (опция: моторизированная)±6* (опция: моторизированная)
Вертикальное разрешениеWSI: больше 0.5nm/ PSI: больше 0.1nmWSI: больше 0.5nm/ PSI: больше 0.1nmWSI: больше 0.5nm/ PSI: больше 0.1nm
Боковое разрешение0.2 ~4um0.2 ~4um0.2 ~4um
Повторяемостьбольше 0.5%больше 0.5%больше 0.5%
Перемещение по X/Y50x50mm (ручное)100x100mm (моторизированное)100x100mm (моторизированное)
Перемещение по Z30mm (ручное)100mm (ручное)100mm (моторизированное)
Автофокус  автофокус
Окружающие условия20±20С, Rh: больше 60%20±20С, Rh: больше 60%20±20С, Rh: больше 60%
SoftwareNanoView, NanoMapNanoView, NanoMapNanoView, NanoMap
КомпьютерWindowWindowWindow
Опции   
Линзы0.5x, 0.75x, lx, 1.5x, 2x (по выбору)0.5x, 0.75x, lx, 1.5x, 2x (по выбору)0.5x, 0.75x, lx, 1.5x, 2x (по выбору)
Объективы интерферометрические2.5x, 5x, lOx, 20x, 50x, lOOx (по выбору)2.5x, 5x, lOx, 20x, 50x, lOOx (по выбору)2.5x, 5x, lOx, 20x, 50x, lOOx (по выбору)
Приборный стол150х150mm230x230mm (моторизированное)230x230mm (моторизированное)