| Размер столика | 150 х 150 мм |
| Диапазон измеряемых толщин | 1 нм – 1000 мкм (в зависимости от модели)
 |
| Время измерения 10 точек | < 20 c |
| Воспроизводимость | < 2 мкм |
| Разрешающая способность | < 0,5 мкм |
| Контроллер | Интегрирован со столиком /256 микрошагов/24 В постоянного тока |
| Габаритные размеры (ДхШхВ) | 20 х 25 х 10 см |
| Дополнительные опции | Моторизованный столик 200 х 200 мм; Моторизованный столик 300 х 300 мм; Вакуумный держатель; Оснастка для измерения спектра пропускания. |