Настольная установка термического испарения (испарение снизу-вверх) с турбонасосом DTT.

Позволяет осаждать металлы, сплавы, полупроводники на подложки диаметром до 200мм. Процесс напыления можно проводить с одного или нескольких источников (лодочек, проволок).

Особенности:

• Простая конструкция и дружественный интерфейс позволяют оператору легко и быстро проводить обработку образцов
• Позволяет проводить процесс с одного или нескольких источников
• Вакуумная камера диаметром 300 мм позволяет работать с кусочками образцов и п/п пластинами диаметром до 200мм
• Благодаря материалу Pyrex, можно легко производить очистку рабочей камеры
• Цветной, сенсорный экран позволяет просматривать лог-файлы последних 200 процессов напыления
• Графическое отображение давления, толщины и тока во время процесса позволяет с высокой точностью управлять процессом напыления
• Ручная или автоматическая обработка
• Напыление по времени или по требуемой толщине
• Высокоточная система контроля толщины на основе кварцевого датчика
• Защита от перегрева образца
• Прецизионный дозирующий клапан для подачи газа в камеру
• Перенос параметров процесса на USB носитель