ДОСТАВКА ПО РОССИИ И СТРАНАМ СНГ
РЕЖИМ РАБОТЫ
09.00-18.00, пн-пт

Робот-манипулятор предназначен для перемещения полупроводниковых подложек размером до 200 мм в кассеты и из кассет. Данный робот - надежный и не привносящий дефектов механизм перемещения подложек для работы при атмосферном давлении. Благодаря встроенному контроллеру, для интеграции с системами OEM требуется только питание и интерфейс связи. HAtm-4.0 обладает набором команд, идентичных большинству центральных роботов и может быть использован в качестве его замены.

ПараметрHAtm-4.0HAtm-5.0
Перемещение по оси Z10мм из начальной позиции184мм из начальной позиции
Угол поворота365⁰
Горизонтальный вылет329мм из начальной позиции
(стд. рука 114мм)
465мм из центра
(стд. рука 140мм)
Воспроизводимость по оси Z
Воспроизводимость по вылету
Воспроизводимость по вращению
±0.05мм
±0.1мм
±0.1⁰
±0.03мм
±0.03мм
±0.1⁰
Максимальная грузоподъемность0,5 кг (стд. конфигурация)
Питание24В DC при 3А24В DC при 7А
Вес5 кг14 кг
MCBF (циклов до ошибки)>1.5 х 107
Доступные позиции60
Программирование позицийВключает специализированное ПО
Интерфейс управленияRS‐232 и Ethernet