ДОСТАВКА ПО РОССИИ И СТРАНАМ СНГ
РЕЖИМ РАБОТЫ
09.00-18.00, пн-пт
Корзина (0)
Системы вакуумного напыления для научно-исследовательских, опытно-конструкторских работ и мелкосерийного производства, серия Micro
Область применения:
- Микроэлектроника, МЭМС
- Производство оптических систем
- Производство датчиков
- Производство светодиодов
Особенности:
- Компактный размер
- Возможность установить до 6 магнетронов
- Возможность работать с круглыми (50-200 мм) и прямоугольными подложками
- DC/RF магнетроны позволяют напылять металлические и диэлектрические слои
- Простая и удобная система управления на базе PLC
- Высочайшее немецкое качество компонентов и сборки
| Технические характеристики | |
| Размер подложек | Ø 50 – 200 мм |
| Материал подложек | Полупроводники, металл, стекло, керамика |
| Максимальное число магнетронов | 6 |
| Время откачки до давления 10-5 мбар | < 5 мин |
| Предельное давление | 5 х 10-6 мбар |
| Линии подачи рабочего газа | Ar, N2 |
| Дополнительные опции | Загрузочный шлюз; RF магнетроны для напыления диэлектрических слоев; Вращающийся подложкодержатель; Нагрев подложки; Дополнительные линии подачи рабочих газов; Источник предварительной ионной очистки поверхности; Компоновка системы согласно индивидуальным требованиям заказчика. |