Установка для нанесения Париленовых покрытий. Модель LAVIDA-1000H

Установка для нанесения Париленовых покрытий. Модель LAVIDA-1000H (Фото 1) Установка для нанесения Париленовых покрытий. Модель LAVIDA-1000H (Фото 2)

Парилен (Полипараксилилен) – уникальное влагозащитное покрытие. Плёнка формируется одновременно по всей поверхности подложки независимо от профиля её поверхности, и образует на ней защитный однородный по толщине слой. На данный момент достаточно широкое применение нашли три марки парилена: Parylene C, N, D. Париленовое покрытие представляет собой высокополимерное покрытие, которое образуется в вакуумной камере в виде газа в результате испарения. Затем оно осаждается на предназначенный материал, образуя слой толщиной от нескольких нанометров до микрометра. Независимо от формы изделия, оно обладает характеристиками конформного покрытия. Он химически очень стабилен и обладает отличными характеристиками в качестве защитного слоя. Он используется для изоляции электронных и электрических материалов и придания им водонепроницаемости. Это также биосовместимый материал, одобренный FDA, который используется для покрытия поверхностей медицинских устройств, для защиты инженерных устройств и т.п.

Области применения:

  • Влагозащитные диэлектрические покрытия для изделий радио­ микроэлектроники (печатные платы, гибридные
    микросборки и др.)
  • Биосовместимые и биостабильные покрытия для медицины (протезирование, имплантаты, инструмент)
  • Защита бумаги (книги, рукописи и др.), картографической продукции, исторических и культурных ценностей
    (архивные докумен­ты, музейные экспонаты и др.)
  • Мембраны
  • Оптика

Параметр

LAVIDA-1000H

Испаритель Нагреватель испарителя: ~ 200℃ (± 2 ~ 3℃)
Дверной обогреватель для термоблокировки: Комнатная температура~ 200 ℃ (± 2 ~ 3℃)
Грузоподъемность димера: Макс. 750 г.
Настройка температуры: До 10 ступеней (Темп. и Время)
Пиролизатор Диапазон температур: Комнатная температура ~ 900℃ (± 2~3℃)
Обогреватель: 3 зональных (независимых) обогревателя
Датчик температуры: 2-проводной датчик типа K x 3 шт (каждый датчик для каждого нагревателя)
Материал трубки: Кварц
Камера осаждения Размер камеры: Диаметр 950 мм, высота 1200 мм. Вертикальная камера
Широкий диапазон вращения: 1-10 об/мин
Эффективная Площадь Покрытия: Размер Подложки: Макс. Диаметр 610 мм
Пробоотборная насадка Доступный максимальный размер образца загрузки: 12 дюймов
Тип зажима: Многослойный алюминиевый
Запрограммированная Скорость Вращения
Ловушка охлаждения Диапазон температур: - 80 ℃ ~ Комнатная температура (± 2 ~ 3 ℃)
Вакуумный насос Вакуумный насос: Механический бустерный насос и комплект роторных насосов
Главный откачной клапан: Пневматический рабочий клапан с возможностью плавной откачки
Выпускной клапан: 2 отверстия 1/2 дюйма, пневматический клапан управления
Вентиляционная линия: Многопозиционный впрыск вентиляционного газа (азота) с фильтром
Измерение давления: вакуумметр Пирани с диапазоном 760 ~ 1 мТорр
Автоматический режим: сохраняется как часть рецепта процесса
Контроллер Контроллер: DSP встроенный контроллер сигнала
Полностью автоматическое и ручное (полуавтоматическое) управление с помощью 10,2-дюймового сенсорного ПК
Рецепты обработки можно сохранять и создавать рецепты для конкретного пользователя
Отображение в реальном времени для мониторинга состояния и ошибок
(Опт.) Отображение в реальном времени для построения графиков

Графики роста толщины:

График роста толщины Рис.1

График роста толщины Рис.2