Вакуумные вводы движения
Необходимость в вводах движениях, устройствах для передачи в вакуум, появляется в связи с тем, что привод механизмов удобнее размещать вне вакуумной камеры. Это связано с трудностью или невозможностью обезгаживания приборов, а также с размещением элементов контроля.
Устройства для передачи движения в вакуум делятся на три группы:
- для передачи возвратно-поступательного движения;
- для передачи качательного движения;
- для передачи вращательного движения.
Внутри каждой группы также возможна классификация по предельному давлению, передаваемому усилию, скорости перемещения, величине хода и т.д.
При конструировании любых вводов движения в вакууме стремятся к тому, чтобы герметизирующий элемент не воспринимал передаваемых усилий, а направляющие и опоры были бы по возможности расположены вне вакуумной камеры. Для пар трения, размещённых в вакууме, применяют специальные смазочные материалы против схватывания трущихся материалов. С этой целью в качестве смазки применяются дисульфид молибдена, сульфидируют поверхности трения или использовать материалы, сильно отличающиеся по своим физическим свойствам, например, металл и керамику.
Для низкого и среднего вакуума используются сальниковые уплотнительные элементы из маслостойкой вакуумной резины или фторопласта, а для сверхвысокого вакуума — гибкие элементы (сильфоны и диафрагмы). Также может использоваться передача движения через неподвижную перегородку.
Резина и сталь имеет большой коэффициент трения, и резиновые уплотнители подвижных соединений всегда нуждаются в смазке. Фторопласт может работать без смазки, но его износ во время работы должен компенсироваться установкой упругих дополнительных элементов.
Уплотнения для ввода поступательного движения в высокий и сверхвысокий вакуум изготавливаются полностью из металла и могут быть прогреты с целью обезгаживания до температуры 400–500ºC.
Магнитные вводы движения через неподвижную перегородку из немагнитного материала обладают максимальной герметичностью, т.к. в них отсутствуют подвижные вакуумные уплотнения. Их недостатками является трение в вакууме и ограниченная величина передаваемых усилий и кинематически нежёсткая передача.
Магнитные ввод-вращения в вакуум применяется в высоковакуумных системах для передачи вращательного движения с большой частотой вращения и малым крутящим моментом. Он может быть сделан прогреваемым, но не обеспечивает кинематической жёсткости передачи.
Компания ЗЭНКО ПЛАЗМА поставляет различные вводы движения и вращения, информация по которым предоставляется по запросу.
