ДОСТАВКА ПО РОССИИ И СТРАНАМ СНГ
РЕЖИМ РАБОТЫ
09.00-18.00, пн-пт

Вакуумные и атмосферные шлюзы загрузки пластин ориентированы на широкий уровень производительности (4, 25 или 50 пластин). Возможны следующие типы шлюзов:

CLP (Cassette Load Port) – Вакуумные шлюзы загрузки из кассеты в кассету для 25 и 50 пластин

ALP - Атмосферные шлюзы загрузки из кассеты в кассету для 25 пластин

MLP (Mini Load Port) - Вакуумные шлюзы загрузки для кассет от 1 до 4 пластин

Особенности:

  • В конструкции используются подъемники Hine нового поколения
  • Возможность работы с прозрачными и непрозрачными пластинами
  • Автоматическое определение наличия пластины и ее положения в кассете
  • Интерфейсы управления RS232 / Ethernet
  • Защитные блокировки
  • Возможна конфигурация для работы в среде высокого вакуума

ПараметрALP-200CLP-200MLP-200
Размер пластины≤ 200 мм
Максимальная нагрузка34 кг
Высота перемещения1100 мм
Конфигурация для высокого вакуумаN/AДоступно
Рабочее давлениеN/A<5.00 х 10-6 Торр<5.00 х 10-6 Торр
НатеканиеN/A1.00 х 10-9 см3 He/c1.00 х 10-9 см3 He/c
Питание24В DC при 5А
Тип кассетыSemiЗаказной, на 4 пластины
Материалы6061‐T6 Al, нержавеющая сталь 300 и 400 серий, Viton
Макс. температура100⁰C