Установка для нанесения Париленовых покрытий. Модель LAVIDA-110H

Установка для нанесения Париленовых покрытий. Модель LAVIDA-110H

Парилен (Полипараксилилен) – уникальное влагозащитное покрытие. Плёнка формируется одновременно по всей поверхности подложки независимо от профиля её поверхности, и образует на ней защитный однородный по толщине слой. На данный момент достаточно широкое применение нашли три марки парилена: Parylene C, N, D. Париленовое покрытие представляет собой высокополимерное покрытие, которое образуется в вакуумной камере в виде газа в результате испарения. Затем оно осаждается на предназначенный материал, образуя слой толщиной от нескольких нанометров до микрометра. Независимо от формы изделия, оно обладает характеристиками конформного покрытия. Он химически очень стабилен и обладает отличными характеристиками в качестве защитного слоя. Он используется для изоляции электронных и электрических материалов и придания им водонепроницаемости. Это также биосовместимый материал, одобренный FDA, который используется для покрытия поверхностей медицинских устройств, для защиты инженерных устройств и т.д.

Области применения:

  • Влагозащитные диэлектрические покрытия для изделий радио­ микроэлектроники (печатные платы, гибридные
    микросборки и др.)
  • Биосовместимые и биостабильные покрытия для медицины (протезирование, имплантаты, инструмент)
  • Защита бумаги (книги, рукописи и др.), картографической продукции, исторических и культурных ценностей
    (архивные докумен­ты, музейные экспонаты и др.)
  • Мембраны
  • Оптика

Параметр

LAVIDA-110H

Испаритель Цельный алюминиевый блок (не сварной)
Грузоподъемность Димера макс. 100 г
Нагреватель испарителя: Макс. 200℃
Дверной нагреватель для тепловой блокировки: макс. 200 ℃
Настройка температуры испарения: До 10 ступеней (Температура и время)
В комплект входит 1 контейнер для загрузки димера
Пиролизатор Материал пиролизной трубки: кварц (или Инконель в качестве альтернативы)
Размер пиролизной трубки: диаметр 36 мм x Длина 790 мм (для кварца)
Нагреватель: макс. 800℃
Обогреватель: 3 х зональный (независимый)
Датчик температуры: 2-проводной датчик типа K x 3 (каждый датчик для каждого нагревателя)
Камера осаждения Цельный алюминиевый блок (не сварной)
Тип: Горизонтальная камера
Рабочее пространство: Диаметр 200 мм x Длина 420 мм
Загрузочная пластина подложки и вращение
Откачная линия с одним входом и 2 выходами для равномерного потока
Контроллер Контроллер: DSP встроенный контроллер сигнала
Полностью автоматическое и ручное (полуавтоматическое) управление с помощью 10,2-дюймового сенсорного ПК
Рецепты обработки можно сохранять и создавать рецепты для конкретного пользователя
Отображение в реальном времени для мониторинга состояния и ошибок
Вакуумный насос Тип: Масляный роторный насос
Производительность насоса: 1000 л/мин при 60 Гц
Предельное давление: 1 X 10-3 Торр
Размеры 1 600 мм x 800 мм x 1300 мм (Ш x Г x В) для основной системы
505 мм x 620 мм x 750 мм (Ш x Г x В) для системы охлаждения
283 мм x 736 мм x 360 мм (Ш x Г x В) для вакуумного насоса
*Размеры могут варьироваться в зависимости от требований заказчика и обновлений продукта

Графики роста толщины:

График роста толщины Рис.1

График роста толщины Рис.2