В корзине
0 ед. товара
Область применения:
Особенности:
Технические характеристики | |
Размер подложек | Круглые, квадратные, прямоугольные |
Материал подложек | Полупроводники, керамика, стекло, металл |
Групповая обработка | В зависимости от размеров подложки Ø100 мм (24 шт.) Ø150 мм (12 шт.) |
Режимы напыления | DC/RF |
Температура подложки | 25 - 200˚С |
Число рабочих секций | До 8 |
Рабочее давление | 5 х 10-7 мбар |
Равномерность слоя по подложке | ± 3% |
Дополнительные опции | Компоновка системы согласно индивидуальным требованиям заказчика; Вакуумный загрузочный шлюз; Нагрев подложек; Станции предварительной и пост очистки поверхности; |