Настольная установка Импульсного Лазерного осаждения. Модель PLD-T (Pulsed Laser Deposition)

nastolnaya-ustanovka-model-pld-t 1 nastolnaya-ustanovka-model-pld-t 2

PLD–T - это высоковакуумная система осаждения тонких пленок, позволяющая осаждать различные материалы как методом импульсного лазерного осаждения, так и методом термического испарения. Онf может наносить сложные материалы и кристаллические структуры на подложки с очень небольшим количеством настроек. Метод импульсного лазерного осаждения приводит к эффективной, нетепловой абляции и сохраняет стехиометрию материалов-мишеней. Применяя этот метод, он может осаждать такие материалы, как нитриды, оксиды, сверхрешетки, полимеры, композиты. PLD–T оснащен многоцелевым манипулятором, который включает в себя три мишени диаметром 2 см. Мишени имеют стандартный размер. Все манипуляторы моторизованы и включают вращение мишеней. Установка может быть оснащена тремя независимыми термостойкими источниками термического испарения. Хорошая конструкция держателя источника испарения не приводит к переносу загрязнений из исходных материалов в другие материалы. Длину держателей источников можно регулировать в диапазоне 5~10 см, что соответствует требованиям заказчика.

Основные особенности:

  • Система мониторинга кварцевым кристаллом, используемая для измерения толщины пленке в режиме реального времени (точность 1 нм)
  • Интуитивно понятный сенсорный экран для управления и мониторинга процесса нанесения покрытия с возможностью быстрого ввода данных
  • Удобное программное обеспечение, которое можно обновлять по сети
  • Возможность записи и построения графиков параметров покрытия
  • Соответствие CE

Основные технические параметры модели DCR:

Технические характеристики

Вакуумная камера Диаметр 300 мм, Высота 140 мм
Материал нержавеющая сталь 304.
Крышка сверху
Мощность источника питания Широкодиапазонный
Высоковакуумный турбомолекулярный насос 90 л/с (7*10-6 Торр)
либо
350 л/с (7*10-7 Торр)
Расстояние между магнетроном и подложкой Регулируемое, 3-8 см
Форвакуумный насос 2-ступенчатый роторно-пластинчатый насос, 4 м3/ч
Система управления На основе PLC
Цветной, сенсорный экран 7"
Питание 220 Вт, 50 Гц, 16 А
Вес в переносном ящике 70 кг
Габаритные размеры
(ШхГхВ)
50см х 47см х 60см
USB-порт Наличие
Возможность записывать и выводить на печать
графики и параметры напыления
Наличие
Дополнительные опции Кристаллы кварца для датчика толщины
Источники теплового испарения
(Лодочка, корзина и спираль)
Устройство нагрева подложек (до 500С)
Испаряемые материалы
Уплотнения

Панель управления:

nastolnaya-ustanovka-model-pld-t 3 nastolnaya-ustanovka-model-pld-t 4

Настольная установка для нанесения углеродного покрытия оснащена 7-дюймовым цветным сенсорным экраном с полностью автоматическим управлением и вводом данных, которым могут управлять даже неопытные пользователи. Информацию о вакууме, токе и осаждении можно отслеживать в виде цифровых данных или кривых на сенсорном экране. Информацию о последних 300 покрытиях можно найти в памяти устройства в меню управления.