Корзина (0)
Установка плазменной обработки низкого давления VITA
Области применения:
- Микроэлектроника, наноэлектроника
- Снятие фоторезиста
- Оптоэлектроника
- Производство печатных плат
- Плазменная очистка
- Плазменная активация поверхности
- Научно-исследовательские центры и лаборатории
- Обработка поверхности перед сваркой, пайкой, заливкой
- Предварительная обработка перед нанесением лакового покрытия, колеющих веществ
- Создания гидрофильных (притягивающих воду)/гидрофобных (водоотталкивающих) покрытий
- Обработка 2D и 3D материалов
- Приборы на основе графена
- Микрофлюидика
- Биоинженерия
- Тканевая инженерия
- Медицина
Серия VITA включает в себя модельный ряд из 2-х установок:
Модель |
VITA-8 |
VITA-12 |
| Рабочая камера | Равномерная диффузия газа: Специально разработанные трехуровневые газовые распределительные головки Размер электрода: 9,2 дюйма (загрузка круглой подложки до 8 дюймов) Сведение к минимуму утечек за счет использования цельного алюминиевого блока (без сварки!) Конструкция с Равномерным Потоком Газа (Патент № 10-1701381) |
Равномерная диффузия газа: Специально разработанные трехуровневые газовые распределительные головки Размер электрода: 14,4 дюйма (загрузка круглой подложки до 12 дюймов) Сведение к минимуму утечек за счет использования цельного алюминиевого блока (без сварки!) Конструкция с Равномерным Потоком Газа (Патент № 10-1701381) |
| ВЧ генератор | Частота: 13,56 МГц Мощность: до 300 Вт Автоматическое согласование импеданса: с помощью DSP мониторинг и управление обратной связью |
Частота: 13,56 МГц Мощность: до 600 Вт Автоматическое согласование импеданса: с помощью DSP мониторинг и управление обратной связью |
| Газовая линия | Доступная технологическая газовая линия: до 4 x каналов Управление потоком газа: с помощью Регулятора массового расхода Линия продувки: 1 шт. Вентиляционная линия: 1шт Расход: до 200 куб. см. |
Доступная технологическая газовая линия: до 4 x каналов Управление потоком газа: с помощью Регулятора массового расхода Линия продувки: 1 шт. Вентиляционная линия: 1шт. Расход: до 200 куб. см. |
| Вакуумная система | Пневматический клапан плавного пуска DN40 Диапазон измерения давления: Атм ~ 5 x 10-4 Торр Модуль APC (Автоматический контроль давления): Комбинация дроссельной заслонки и дроссельного клапана с емкостным вакуумметром до 10 Торр Вакуумный насос: Масляный роторный насос / Скорость откачки: 1000 л/мин при 60 Гц / Максимальное давление: 1 x 10-3 Торр |
Пневматический клапан плавного пуска DN40 Диапазон измерения давления: Атм ~ 5 x 10-4 Торр Модуль APC (Автоматический контроль давления): Комбинация дроссельной заслонки и дроссельного клапана с емкостным вакуумметром до 10 Торр Вакуумный насос: Масляный роторный насос / Скорость откачки: 1000 л/мин при 60 Гц / Максимальное давление: 1 x 10-3 Торр |
| Контроллер | - Контроллер: DSP встроенный контроллер сигнала Полностью автоматическое и ручное (полуавтоматическое) управление с помощью 10,2-дюймового сенсорного ПК Рецепты обработки можно сохранять и создавать рецепты для конкретного пользователя Отображение в реальном времени для мониторинга состояния и ошибок |
- Контроллер: DSP встроенный контроллер сигнала Полностью автоматическое и ручное (полуавтоматическое) управление с помощью 10,2-дюймового сенсорного ПК Рецепты обработки можно сохранять и создавать рецепты для конкретного пользователя Отображение в реальном времени для мониторинга состояния и ошибок |
| Размеры | Основная система: 680 x 1100 x 1300 мм Вакуумный насос: 709 x 250 x 387 мм |
Основная система: 748 x 1109 x 1240 мм Вакуумный насос: 709 x 250 x 387 мм |
Пример травления SiO2
Рис.1. До травления
Рис.2. Результат после травления на установке VITA
