ДОСТАВКА ПО РОССИИ И СТРАНАМ СНГ
РЕЖИМ РАБОТЫ
09.00-18.00, пн-пт

Установка плазменной обработки низкого давления VITA

Установка плазменной обработки низкого давления VITA

Области применения:

  • Микроэлектроника, наноэлектроника
  • Снятие фоторезиста
  • Оптоэлектроника
  • Производство печатных плат
  • Плазменная очистка
  • Плазменная активация поверхности
  • Научно-исследовательские центры и лаборатории
  • Обработка поверхности перед сваркой, пайкой, заливкой
  • Предварительная обработка перед нанесением лакового покрытия, колеющих веществ
  • Создания гидрофильных (притягивающих воду)/гидрофобных (водоотталкивающих) покрытий
  • Обработка 2D и 3D материалов
  • Приборы на основе графена
  • Микрофлюидика
  • Биоинженерия
  • Тканевая инженерия
  • Медицина

Серия VITA включает в себя модельный ряд из 2-х установок:

Модель

VITA-8

VITA-12

Рабочая камера Равномерная диффузия газа: Специально разработанные трехуровневые газовые распределительные головки
Размер электрода: 9,2 дюйма (загрузка круглой подложки до 8 дюймов)
Сведение к минимуму утечек за счет использования цельного алюминиевого блока (без сварки!)
Конструкция с Равномерным Потоком Газа (Патент № 10-1701381)
Равномерная диффузия газа: Специально разработанные трехуровневые газовые распределительные головки
Размер электрода: 14,4 дюйма (загрузка круглой подложки до 12 дюймов)
Сведение к минимуму утечек за счет использования цельного алюминиевого блока (без сварки!)
Конструкция с Равномерным Потоком Газа (Патент № 10-1701381)
ВЧ генератор Частота: 13,56 МГц
Мощность: до 300 Вт
Автоматическое согласование импеданса: с помощью DSP мониторинг и управление обратной связью
Частота: 13,56 МГц
Мощность: до 600 Вт
Автоматическое согласование импеданса: с помощью DSP мониторинг и управление обратной связью
Газовая линия Доступная технологическая газовая линия: до 4 x каналов
Управление потоком газа: с помощью Регулятора массового расхода
Линия продувки: 1 шт.
Вентиляционная линия: 1шт
Расход: до 200 куб. см.
Доступная технологическая газовая линия: до 4 x каналов
Управление потоком газа: с помощью Регулятора массового расхода
Линия продувки: 1 шт.
Вентиляционная линия: 1шт.
Расход: до 200 куб. см.
Вакуумная система Пневматический клапан плавного пуска DN40
Диапазон измерения давления: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
Модуль APC (Автоматический контроль давления): Комбинация дроссельной заслонки и дроссельного клапана с емкостным вакуумметром до 10 Торр
Вакуумный насос: Масляный роторный насос / Скорость откачки: 1000 л/мин при 60 Гц / Максимальное давление: 1 x 10-3 Торр
Пневматический клапан плавного пуска DN40
Диапазон измерения давления: Атм ~ 5 x 10-4 Торр
Модуль APC (Автоматический контроль давления): Комбинация дроссельной заслонки и дроссельного клапана с емкостным вакуумметром до 10 Торр
Вакуумный насос: Масляный роторный насос / Скорость откачки: 1000 л/мин при 60 Гц / Максимальное давление: 1 x 10-3 Торр
Контроллер - Контроллер: DSP встроенный контроллер сигнала
Полностью автоматическое и ручное (полуавтоматическое) управление с помощью 10,2-дюймового сенсорного ПК
Рецепты обработки можно сохранять и создавать рецепты для конкретного пользователя
Отображение в реальном времени для мониторинга состояния и ошибок
- Контроллер: DSP встроенный контроллер сигнала
Полностью автоматическое и ручное (полуавтоматическое) управление с помощью 10,2-дюймового сенсорного ПК
Рецепты обработки можно сохранять и создавать рецепты для конкретного пользователя
Отображение в реальном времени для мониторинга состояния и ошибок
Размеры Основная система: 680 x 1100 x 1300 мм
Вакуумный насос: 709 x 250 x 387 мм
Основная система: 748 x 1109 x 1240 мм
Вакуумный насос: 709 x 250 x 387 мм

Пример травления SiO2

Рис.1.  До травления

Рис.1. До травления

Рис.2.  Результат после травления на установке VITA

Рис.2. Результат после травления на установке VITA

Рис.3.  Сравнение До и После и общий вид структуры рельефа при разных масштабах

Рис.3. Сравнение До и После и общий вид структуры рельефа при разных масштабах