Настольные установки напыления
Компания ЗЭНКО ПЛАЗМА поставляет настольные установки магнетронного напыления, которые уже более 10 лет пользуются успехом на Ближнем Востоке, в Ю. Корее, Австралии, Китае, Тайване, благодаря простоте использования и функциональности. При производстве оборудования особое внимание уделяется качеству комплектующих.
NSC производит широкий спектр систем магнетронного напыления, которые применяются для:
- подготовки образцов к сканирующей (SEM) и просвечивающей (TEM) электронной микроскопии
- исследовательских и научных целей
- проведения лабораторных экспериментов в рамках программы обучения технического университета.
ЗЭНКО ПЛАЗМА производит поставку, пуско-наладку, гарантийное и пост гарантийное обслуживание.
DSR1 – настольная установка магнетронного напыления с одним магнетроном, диаметром 4" (100мм). DSR1 позволяет напылять благородные металлы: золото (Au), серебро (Ag), палладий (Pa), платина (Pt). Идеально подходит для подготовки образцов к SEM и TEM анализам.
DST3 – настольная установка напыления с тремя магнетронами диаметром 2" (50мм) и турбонасосом. Позволяет напылять металлы, диэлектрики, полупроводники на подложки диаметром до 200мм. Процесс напыления можно проводить последовательно или одновременно с трех магнетронов. Возможно установить один магнетрон диаметром 4" (100мм).
Доступны 2 конфигурации: DST3 А – с 30˚ наклоном катодов, DST3 S – катоды выстроены в линию.
DTT – настольная установка термического испарения (испарение снизу-вверх) с турбонасосом. Позволяет осаждать металлы, сплавы, полупроводники на подложки диаметром до 200мм. Процесс напыления можно проводить с одного или нескольких источников.
DCR – компактная система для нанесения покрытия из углеродного волокна, подходящая для подготовки образцов для использования в сканирующем электронном микроскопе (SEM), просвечивающем электронном микроскопе (TEM) и рентгеновском анализе (EDX).
PLD-T – высоковакуумная система осаждения тонких пленок, позволяющая осаждать различные материалы как методом импульсного лазерного осаждения, так и методом термического испарения.
VCS100F – универсальная система для нанесения покрытия из углеродного волокна, включающая методы термического испарения и магнетронного распыления.
Модельный ряд состоит из 15 установок:
* Доступны 2 конфигурации: А – с 30˚ наклоном катодов, S – катоды выстроены в линию.
