ДОСТАВКА ПО РОССИИ И СТРАНАМ СНГ
РЕЖИМ РАБОТЫ
09.00-18.00, пн-пт

Промышленные системы магнетронного или термического напыления металлических, оксидных и нитридных слоев на полимерные и металлические пленки, серия Roll-to-Roll

Область применения:

  • Осаждение функциональных слоев тонкопленочных солнечных элементов (CIGS, a-Si, CdTe);
  • Создание прозрачных электродов на базе ITO пленок;
  • Органическая электроника;
  • Осаждение оптических, барьерных, изолирующих слоев на рулонные материалы;
  • Пищевая промышленность;

Особенности:

  • Движение ленты через валики может осуществляться с контактом и без контакта с рабочей поверхностью;
  • Встроенный контроль параметров слоя в процессе обработки;
  • Вакуумная обработка обеспечивает низкий уровень дефектности пленки;
  • Автоматизированная система управления на базе PLC;
  • Простая загрузка/выгрузка рулона;
  • Различные типы источников напыления (планарные или цилиндрические магнетроны, термические испарители);
  • Возможность реализовать до 6 секций напыления;
  • Высокая воспроизводимость параметров процесса;
  • Высочайшее немецкое качество компонентов и сборки;
 Технические характеристики
Число секций напылениядо 6
Материал лентыПолиэтилен (PET, PEN), полиимид, металл
Размер лентыШирина: 200 – 2400 мм
Длина: 340 – 2000 м (возможна меньшая длина)
Толщина: 25 – 200 мкм
Режимы напыленияDC, MF, RF
Термическое испарение
Осаждаемые материалыМеталлы, диэлектрики, сплавы
Скорость движения ленты0,05 – 5 м/мин
Температура процессаОт -10 до 600˚С
Рабочее давление1 х 10-6 мбар (опция 8 х 10-7 мбар)
Время откачки до рабочего давленияНе более 30 мин
Дополнительные опцииКомпоновка системы согласно индивидуальным требованиям заказчика;
Шлюзовая загрузка;
Станции предварительной и пост очистки поверхности;
Использование крионасосов в откачной системе;
Дополнительное охлаждение ленты;
Установка дополнительного барабана для увеличения производительности;