Ориентаторы пластин

Ориентаторы пластин предназначены для автоматического распознавания срезов (базовых, дополнительных, двойных) на непрозрачных и полупрозрачных пластинах. Ориентатор определяет базовый или дополнительный срез на пластине путем вращения подложки и обеспечивает корректировку между ориентирующим держателем и центром основного робота-манипулятора. Лазерная ПЗС матрица и электропривод обеспечивают точное позиционирование. Стандартные функции включают в себя: ориентирование тонких и гибких пластин; высокую точность выравнивания, как на пластине, так и от пластины к пластине. HA-71A и HA-75A могут быть сконфигурированы для выравнивания пластин разных размеров и форм.

Особенности:

• Разработаны для среды сверхвысокого вакуума за счет использования магнитно-жидкостного уплотнения
• Неограниченный угол поворота
• Программируемая ориентация по базовому и дополнительному срезу
• Интерфейс управления Ethernet или RS-232
• Конфигурируемость размера пластины при помощи регулировки настроек аппаратных средств и ПО

Опции:

• Держатели доступны для всех размеров пластин и большинства подложкодержателей
• Конфигурирование для непрозрачных или прозрачных материалов