ДОСТАВКА ПО РОССИИ И СТРАНАМ СНГ
РЕЖИМ РАБОТЫ
09.00-18.00, пн-пт

Комбинированная установка (магнетронное распыление и термическое испарение). Модель VCS100F

Кombinirovannaya-ustanovka-model-vcs100f

VCS100F - это универсальная система, включающая методы термического испарения и магнетронного распыления. Поскольку камера VCS100F больше, чем настольные модели, такие как Настольный распылитель – DST3 и Настольный термальный испаритель – DTT, все источники тепла и магнетронные катоды установлены на опорной плите, и осаждение выполняется снизу вверх. Большая и металлическая камера VCS100F допускает больший перегрева опорной плиты и вакуумной камеры из-за теплового излучения от источников теплового излучения в течение длительного времени. Большее расстояние между источниками тепла и образцами в VCS100F привело к лучшей однородности толщины покрытий по сравнению с настольными моделями для больших образцов.

Технические параметры:

  • Двухкатодный магнетронная система с регулировкой по 3-м степеням свободы
  • Источник питания постоянного тока с автоматическим согласующим устройством
  • Система термического испарения с током 300 А, мощность 2 кВт
  • Держатель лодочки и дисплей, отображающий силу тока
  • Двухслойная вакуумная камера с водяным охлаждением
  • Электронный регулируемый дроссельный клапан ISO-100
  • Высоковакуумный турбомолекулярный насос, TMP 350 (Лейболд)
  • Широкодиапазонный комбинированный датчик Пирани/пеннинга (Лейболд)
  • Двухступенчатый роторный вакуумный насос 12 м3/ч в комплекте с фильтром масляного тумана
  • Цилиндрическая вакуумная камера SST диаметр 400 мм высота 500 мм
  • Два прецизионных монитора измерения толщины пленки (FTM) с разрешением 1 нм
  • Радиочастотный источник питания с автоматической коробкой согласования мощностью 300 Вт
  • Наличие опции плазменной очистки
  • Держатель подложки
  • Камера с подъемом электропневматическим домкратом
  • Сильноточные электрические вводы
  • Система вращения образцов