Комбинированная установка (магнетронное распыление и термическое испарение). Модель VCS100F

VCS100F - это универсальная система, включающая методы термического испарения и магнетронного распыления. Поскольку камера VCS100F больше, чем настольные модели, такие как Настольный распылитель – DST3 и Настольный термальный испаритель – DTT, все источники тепла и магнетронные катоды установлены на опорной плите, и осаждение выполняется снизу вверх. Большая и металлическая камера VCS100F допускает больший перегрева опорной плиты и вакуумной камеры из-за теплового излучения от источников теплового излучения в течение длительного времени. Большее расстояние между источниками тепла и образцами в VCS100F привело к лучшей однородности толщины покрытий по сравнению с настольными моделями для больших образцов.