CVD установка. Модель Thermo-CUTE

Thermo-CUTE серия представляет собой усовершенствованную синтезирующую систему химического осаждения из газовой фазы (CVD) с интегрированным источником плазмы в трубчатом реакторе с нагревателем. Благодаря удобству использования и экономичности — это хорошее решение для исследований, таких как углеродные нанотрубки, графен, нанопроволока, 2D-материалы, оксиды и нитриды в области полупроводников, нано-био и МЭМС.

Встроенный генератор плазмы системы CVD позволяет осуществить:
- низкотемпературный синтез
- обработка поверхности «на месте»

Обработка поверхности «на месте»

PECVD процесс может быть выполнен с использованием этой системы для синтеза дихалькогенидов переходных
металлов, таких как MoS2 и WS2, при низкой температуре с высоким качеством монокристаллов.

Технические характеристики:

Модуль нагрева
Тип Горизонтальный разделённый
Нагревающий элемент Керамический литой нагреватель
Рабочая температура Максимально 1200°С
Размер нагревателя 300 мм
Зона однородности 100 мм
Мощность 4 кВт
Трубчатый реактор и камера
Размер трубки:
Внутренний диаметр
Длина

46 мм
1200 мм
Материал камера напуска рабочего газа и камеры откачки Нержавеющая сталь
Размер
Число газовых линий 3 (H2, CH4, Ar) + 1 дополнительная для будущей модернизации
Разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Регулятор расхода газа MFC
Линий напуска в рабочую камеру
Линия продувки рабочей камеры Азот, воздух, CDA
Разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Газораспределительный блок 5 х вход / 1 х выход
Разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Датчик давления Пирани (Leybold Thermovac)
Вакуумный насос
Скорость откачки
Предельный вакуум
Масляный пластинчато-роторный
400 л/мин
1 x 10-3 Торр
Управление Ручное или автоматическое
Панель управления 10.2” сенсорный экран
Габаритные размеры установки
(ШхГхВ), мм
2000 х 1000 х 1200
Габаритные размеры насоса
(ШхГхВ), мм
210 x 543 x 297
Питание 220В, 1 ф, 50Гц, 30A

Применения:

Травление Графена и 2D-материалов

Травление Графена и 2D-материалов

Генерация дефектов

Генерация дефектов

Рис.1. Создание

Рис.2. Контроль дефектов