Сканирующие электронные микроскопы
JEOL Ltd. - мировой лидер в производстве и разработке сканирующих (растровых) электронных микроскопов (РЭМ), просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ), анализаторов поверхности (ОЖЕ микроанализаторы, фотоэлектронные спектрометры, электронно-зондовые микроанализаторы EPMA), системы с фокусированным ионным пучком, масс-спектрометров, спектрометров ядерного магнитного резонанса (ЯМР) и систем электронно-лучевой литографии для производства полупроводниковых приборов.
Высокопроизводительный аналитический многофункциональный растровый электронный микроскоп JSM-IT500, который позволяет работать в заводских лабораториях при проведении рутинных исследований, а также микроэлектроники.
| Характеристики | Значение |
|
Разрешение в режиме высокого вакуума |
2,5 нм (30 кВ, LaB6 катод)(опционально) 3,0 нм (30 кВ, вольфрамовый катод) 8,0 нм (3 кВ) 15,0 нм (1 кВ) (опционально) |
|
Разрешение в режиме низкого вакуума |
4,0 нм (30 кВ, W катод, детектор отраженных электронов) 3,5 нм (30 кВ, LaB6 катод, детектор отраженных электронов) (опционально) |
|
Увеличение |
х5- x300 000 (в пересчете на размеры фотопластины 128х96мм) |
|
Ускоряющее напряжение |
0,3 - 30 кВ |
|
Вакуумная система |
Полностью автоматизирована |
|
Турбомолекулярный насос — 1 шт. |
|
|
Форвакуумный ротационный насос — 2 шт. (в конфигурации LV/LA); 1 шт. (в высоковакуумной конфигурации) |
|
|
Опции |
Энергодисперсионный спектрометр Спектрометр с дисперсией по длинам волн Система дифракции отражённых электронов Спектрометр комбинационного рассеяния света Система рентгеновского флуоресцентного микроанализа Система катодолюминесценции Наноманипуляторы Детектор тока, индуцированного пучком (EBIC) Столики образцов с функциями охлаждения и нагрева Столик образцов для механических испытаний |
JEOL JSM-IT300 - высокопроизводительный многофункциональный растровый электронный микроскоп.
|
Характеристики |
|
|
Разрешение в режиме высокого вакуума |
3,0 нм (30 кВ) 15нм(1кВ) |
|
Разрешение в режиме низкого вакуума |
4,0 нм (30 кВ) |
|
Увеличение |
x5- x300 000 |
|
Ускоряющее напряжение |
|
|
Вакуумная система |
Полностью автоматизирована |
|
Турбомолекулярный насос — 1 шт |
|
|
Форвакуумный ротационный насос — 1 шт |