COVANCE - настольная установка плазменной обработки низкого давления.

Область применения:

Микроэлектроника, наноэлектроника,
Снятие фоторезиста
Оптоэлектроника
Производство печатных плат
Плазменная очистка
Плазменная активация поверхности
Научно-исследовательские центры и лаборатории
Обработка поверхности перед сваркой, пайкой, заливкой
Предварительная обработка перед нанесением лакового покрытия, клееющих веществ
Создания гидрофильных (притягивающих воду)/гидрофобных (водоотталкивающих) покрытий;
Обработка 2D и 3D материалов
Приборы на основе графена
Микрофлюидика
Биоинженерия
Тканевая инженерия
Медицина

Стандартный комплект поставки включает:

Установка плазменной обработки в моноблочном корпусе
Вакуумный насос с комплектом необходимого фитинга (хомуты, кольцевые уплотнения, сильфон, выхлопная трубка, фильтр масляного тумана) для подключения
Полипропиленовая трубка для подвода газа от баллона к разъемам на установке (рекомендуется выполнять линии подвода газа из нержавеющей стали методом орбитальной сварки);
Инструкция по эксплуатации на русском языке

Особенности:

Рабочая камера из алюминия, выполненная без сварных швов, обеспечивает минимальный уровень утечек и высокую электропроводность плазмы во время обработки
Инновационный дизайн подачи рабочего газа в камеру
Возможна конфигурация с ВЧ-генератором 13,56 МГц
Буферная камера для плавной откачки
Работа в ручном или полностью автоматическом режиме
Возможность задавать частоту генератора в диапазоне 20 – 100 кГц, с шагом 10 кГц
До 4 газовых линий с цифровыми РРГ (MFC)
Цветной сенсорный дисплей, диагональ 7"
Программное обеспечение на базе Microsoft Windows CE с интуитивно понятным интерфейсом
Возможность создания и хранения до 10 технологических рецептов, с заданием до 10 стадий в одном рецепте
Графическое отображение данных в режиме реального времени
Компактный и эргономичный дизайн

	Технические характеристики
Размер образца	Макс. 150 х 150 мм
Материал рабочей камеры	Алюминий или кварц
Габаритные размеры камеры	200мм x 220мм x 160мм (ДхШхВ), алюминий; Ø150 х 250 мм (Д), кварц;
Генератор плазмы	0 - 200 Вт, шаг регулировки 1 Вт
Диапазон частот генератора плазмы	20 – 100 кГц
Управление	Ручное или автоматическое
Вакуумный насос	Скорость откачки: 80 л/мин (5 м³/ч) Предельное давление: 1 х 10^-3 Торр
Датчик давления	Пирани (Leybold Thermovac)
Диапазон измерений датчика давления	Атм. – 1х10^-3 Торр
Число газовых линий	Стнд. 1 линия с цифровым РРГ (MFC), макс. до 3 линий Разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия напуска в рабочую камеру	Азот, воздух, CDA Разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Линия продувки рабочей камеры	Азот, воздух, CDA Разъем для подключения 1/4" типа Swagelok
Питание	110/250 В, 50/60 Гц, 10А
Габаритные размеры (ШхГхВ)	700 x 650 x 770 мм
Дополнительные опции	Генератор плазмы 300 Вт; 13,56 МГц; Чиллер для охлаждения электрода (только для генератора 13,56 МГц); Сухой вакуумный насос; Дополнительная газовая линия (до 4 линий); Комплект ЗИП;

Форма поиска

COVANCE - настольная установка плазменной обработки низкого давления.